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一种原料舟及气相外延装置.pdfVIP

一种原料舟及气相外延装置.pdf

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    本发明公开了一种原料舟及气相外延装置，原料舟包括用于盛放原料的容置腔，以及用于通入气体的进气端口；所述容置腔内顶部设有第一维度隔板，所述第一维度隔板用于将所述容置腔分隔形成绕流通道；所述绕流通道连通所述进气端口，所述绕流通道用于使通入所述进气端口的气体在所述原料舟中绕流通过在原料舟中设置绕流通道，使反应气体在原料舟中流动时保持与原料接触，从而克服因原料的消耗而导致反应物转化率降低的问题，进而提高各批次产品的一致性。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117779185A

    (43)申请公布日2024.03.29

    (21)申请号202311849416.6

    (22)申请日2023.12.28

    (71)申请人东莞市中镓半导体科技有限公司

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