soc工艺课件-ch7化学气相淀积.pptVIP

辉光放时，整个放电管将呈明暗相见的辉光强度暗区：相当于离子和电子从电场获取能量的加速区；辉光区：相当于不同离子发生碰撞、复合、电离的区域，这些区域有光子产生。负辉区：阴极附近，是最亮区域。是被加速的电子与气体分子发生碰撞使分子电离的区域。图7-15直流辉光放电各参量分布等离子体的产生——直流气体辉光放电等离子体〔Plasma〕是指具有一定导电能力的气体，它由正离子、电子、光子、原子、原子团、分子及它们的激发态所组成的混合气体，宏观上呈现电中性。辉光放电构成的等离子体中粒子能量、密度较低，放电电压较高。其特点是质量较大的重粒子，包括离子、中性原子和原子团的能量远远低于电子的能量，是一种非热平衡状态的等离子体。等离子体的产生——等离子体及其特点直流辉光放电等离子体：真空度为1Pa的气体，反常放电时等离子体中电子平均动能E为2eV，电子温度T=E/k约为23000K，电子的平均运动速度v=9.5*105m/s离子及中性原子处于低能状态，对应温度在T=300-500K；平均速度vAr=5*102m/s等离子鞘层：电子与离子具有不同速度，结果使形成所谓的等离子鞘层，即任何处于等离子中的物体相对于等离子体来讲都呈现出负电位，且在物体外表附近出现正电荷积累。等离子体的产生——等离子体及其特点在辉光放电等离子体中，电子的能量、速率远高于离子能量