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- 2024-04-03 发布于北京
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IonBeamDeposition
JohnR.McNeil,JamesJ.McNally,and
PaulD.Reader
1.0INTRODUCTION
Ionbombardmentofsurfaceshasbeenusedonnectionwiththin
filmdepositionfordecades.Theamountandtypeofionbombardment
greatlyinfluencesfitructureandcompositi
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