【2017年整理】探讨单点金刚石切削技术在微结构加工中的应用.docxVIP

探讨单点金刚石切削技术在微结构加工中的应用

吕江龙2111406002

摘要：单点金刚石切削(singlepointdiamondturning,简称SPDT)是一种使用纳米金刚石刀具进行加工的生产过程。而纳米单晶金刚石刀具具有刃口锋利、可反复成形和耐磨性高等特点。该方法能够使微米至亚微米级制造组件的形状精度和表面粗糙度控制在纳米级的范围内。单点金刚石切削优异的表面成形质量和面形精度，使该技术被广泛地应用于制造各种精密机械和光学部件。目前，微结构自由曲面的加工已达到微纳切削。通过典型微结构自由曲面的加工及测量的应用进行举例说明；介绍我国在超精密加工机床领域内的研制情况，展望超精密切削技术未来发展趋势。

关键词：单点金刚石切削微结构自由曲面超精密加工

Abstract:Single-pointdiamondturning(SPDT)isamachiningprocessthatmakinguseofamonocrystaldiamondtoolwhichpossessesnanometricedgesharpness,formingreproducibilityandwearingresistance.Theprocessiscapableofproducingcomponentswithmicrometertosubmicrometreformaccuracyandsurfaceroughnessinthenanometrerange.ThesuperiorsurfacefinishandformaccuracyofSPDFallowthetechnologytobeadoptedwidelyforthemanufactureofavarietyofprecisionmechanicalandopticalparts.Atpresent,themicrostructureoffreeformsurfacemachininghasreachedmicro-nanocutting.Casestudiesonthefabricationandcharacterizationoftypicalmicrostructuredfreeformsurfaceispresented.Thedevelopmentofultra-precisionmachiningequipmentinChinaandthefuturetrendsinthemachiningandmeasurementofmicrostructuredfreeformsurfacesarediscussed.

Keywords:Single-pointdiamondturningMicrostructuredfreeformsurface

Ultra-precisionmaching

前言

超精密机床在加工具有亚微米形状精度、纳米表面粗糙度的精准表面过程中起着至关作用。20世纪60年代前，只有简单几何形状的表面，如平面、柱面和球面，才能加工到表面粗糙。随后1962年，美国的UnionCardie公司首先开发了一台超精密半球面加工设备，可以加工直径101.6mm的铝合金半球表面到镜面效果(形状精度0.6um,表面粗糙度25nm)。这也是首次步入微米尺度的加工过程。之后在20世纪70年代，中小尺度超精密加工设备先后出现，包括美国Moore公司的M-18AG、Pneumo公司的MS-325、荷兰Phillips公司的Colath等。这些数控非球面车床配备金刚石刀具，可加工工件到形状精度0.3～0.5um,表面粗糙度到10nm。1975年后，日本着重开发大负荷、特殊超精密加工机床(如磁性平板车削机床)。1996年韩国生产出非球面超精密金刚石车床，可以加工最大直径达640mm的工件，进给分辨率0.01um。所加工的铜质工件表面粗糙度可达30nm。在中国，2003年制造出非球面超精密金刚石车床，可加工形状精度PV值达0.228um,表面粗糙度7.8nm。随着新材料的发展，以及切削工具的改进，从20世纪70年代开始，超精密加工技术已成为制造精密零部件和精密光学的有力手段。到20世纪80年代，超精密加工技术已成功用于生