精密与超精密加工技术.pptxVIP

精密与特种加工技术主讲人：纪仁杰

1、精密与超精密加工技术2、微细与超微细加工技术3、纳米加工技术4、特种加工技术章节

精密与超精密加工技术

精密与超精密1.1概述精密加工在一定的发展时期，加工精度和表面质量达到较高程度的加工工艺。在一定的发展时期，加工精度和表面质量达到最高程度的加工工艺。超精密加工

加工历史进程瓦特改进蒸汽机—镗孔精度1mm；20世纪40年代—最高精度1μm；20世纪末—精密加工：≤0.1μm，Ra≤0.01μm(亚微米加工)；超精密加工：≤0.01μm，Ra≤0.001μm(纳米加工)。微细及超微细加工微细加工—微小尺寸的精密加工；超微细加工—微小尺寸的超精密加工。精密与超精密

零件加工精度表面粗糙度激光光学零件形状误差0.1μmRa0.01～0.05μm多面镜平面度误差0.04μmRa＜0.02μm磁头平面度误差0.04μmRa＜0.02μm磁盘波度0.01～0.02μmRa＜0.02μm雷达导波管平面度、垂直度误差＜0.1μmRa＜0.02μm卫星仪表轴承圆柱度误差＜0.01μmRa＜0.002μm天体望远镜形状误差＜0.03μmRa＜0.01μm几种典型精密零件的加工精度几种典型精密零件的加工精度精密与超精密

精密加工与超精密加工的发展精密与超精密

精密与超精密加工技术是一个国家制造业水平重要标志1.2精密与超精密加工地位例：美国哈勃望远镜形状精度0.01μm；超大规模集成电路最小线0.1μm，日本金刚石刀具刃口钝圆半径达2nm。精密与超精密

精密加工与超精密加工技术是先进制造技术基础和关键例：美国陀螺仪球圆度0.1μm，粗糙度Ra0.01μm，导弹命中精度控制在50m范围内；英国飞机发电机转子叶片加工误差从60μm降至12μm，发电机压缩效率从89%提高到94%；齿形误差从3-4μm减小1μm，单位重量齿轮箱扭矩可提高一倍。精密与超精密

精密加工与超精密加工技术是新技术的生长点精密与超精密加工技术涉及多种基础学科和多种新兴技术，其发展无疑会带动和促进这些相关科学技术的发展。精密与超精密

加工机理加工方法示例电物理加工电火花加工(电火花成形，电火花线切割)电化学加工电解加工、蚀刻、化学机械抛光力学加工切削、磨削、研磨、抛光、超声加工、喷射加工热蒸发(扩散、溶解)电子束加工、激光加工精密与超精密加工分类分类去除加工精密与超精密

加工机理加工方法示例附着加工化学化学镀、化学气相沉积电化学电镀、电铸热熔电真空蒸镀、熔化镀注入加工化学氧化、氮化、活性化学反映电化学阳极氧化热熔电掺杂、渗碳、烧结、晶体生长力物理离子注入、离子束外延连续加工热物理激光焊接、快速成形化学化学粘接精密与超精密加工分类分类结合加工精密与超精密

加工机理加工方法示例热流动精密锻造、电子束流动加工、激光流动加工粘滞流动精密铸造、压铸、注塑分子定向液晶定向精密与超精密加工分类分类变形加工精密与超精密

1.3精密与超精密加工特点“进化”加工原则直接式进化加工：利用低于工件精度的设备、工具，通过工艺手段和特殊工艺装备，加工出所需工件。适用于单件、小批生产。间接式进化加工：借助于直接式“进化”加工原则，生产出第二代工作母机，再用此工作母机加工工件。适用于批量生产。精密与超精密

微量切削机理背吃刀量小于晶粒大小，切削在晶粒内进行，与传统切削机理完全不同。微量切削机理传统切削与磨削方法存在加工精度极限，超越极限采用新的方法。精密与超精密

形成综合制造工艺需综合考虑工件材料、加工方法、加工设备与工具、测试手段、工作环境等诸多因素，是一项复杂的系统工程，难度较大。与高新技术产品紧密结合精密与超精密加工设备造价高，难成系列。常常针对某一特定产品设计(如加工直径3m射电天文望远镜的超精密车床，加工尺寸小于1mm微型零件的激光加工设备)。精密与超精密

与自动化技术联系紧密广泛采用计算机控制、适应控制、再线检测与误差补偿技术，以减小人的因素影响，保证加工质量。加工与检测一体化精密检测是精密与超精密加工的必要条件，并常常成为精密与超精密加工的关键。精密与超精密

1.4金刚石超精密加工技术机理、特点机理特点切削在晶粒内进行；切削力＞原子结合力(剪切应力达13000N/mm2)；刀尖处温度极高，应力极大，普通刀具难以承受；高速切削，工件变形小，表层高温不会波及工件内层，可获得高精度和好表面质量。精密与超精密

机理、特点用于铜、铝及其合金精密切削；加工各种红外光学材料如锗、硅、ZnS和ZnSe等；加工有机玻璃和各种塑料；典型产品：光学反射镜、射电望远镜主镜面、树脂隐形眼镜片等。应用精密与超精密

超精密加工零件及应用射