SEM扫描电子显微镜原理与应用课件.pptVIP

扫描电子显微镜;扫描电子显微镜的简称为扫描电镜，英文缩写为SEM(ScanningElectronMicroscope)。它是用细聚焦的电子束轰击样品外表，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品外表或断口形貌进行观察和分析。现在SEM都与能谱〔EDS〕组合，可以进行成分分析。所以，SEM也是显微结构分析的主要仪器，已广泛用于材料、冶金、矿物、生物学等领域。

;电子与固体试样的交互作用;样品;一、背散射电子

背散射电子是被固体样品中的原于反弹回来的一局部入射电子。

弹性背散射电于是指被样品中原于核反弹回来的，散射角大于90度的那些入射电子，其能量没有损失。

非弹性背散射电子是入射电子和样品核外电子撞击后产生的非弹性散射，不仅方向改变，能量也不同程度的损失。如果逸出样品外表，就形成非弹性背散射电子。

可进行微区成分定性分析;二、二次电子

二次电子是指在入射电子束作用下被轰击出来并离开样品外表的样品的核外层电子。

二次电子的能量较低，一般都不超过50ev。大多数二次电子只带有几个电子伏的能量。

二次电子一般都是在表层5-10nm深度范围内发射出来的，它对样品的外表形貌十分敏感，因此，能非常有效地显示样品的外表形貌。

不能进行微区成分分析;三、吸收电子

入射电子进人样品后，经屡次非弹性散射