现代材料测试方法课件.pptVIP

4、X光子幾何收集率是指能譜儀接收X光子數與源出射的X光子的百分比。能譜儀的X光子幾何收集率約2%。但比波譜儀要高得多。5、量子效率量子效率是指探測器X光子計數與進入譜儀探測器的x光子數的百分比，能譜儀的量子效率很高，對8μm鈹窗、3mm厚的Si（Li）探測器，在X射線光子能量為25-15keV範圍，探測器的量子效率接近100％。6、暫態的x射線譜接收範圍暫態的X射線接收範圍是指譜儀在瞬間所能探測到的X射線譜的範圍。能譜儀在瞬間能探測各種能量的X射線。7、最小電子束斑束流與束斑直徑的8/3次方成正比。因能譜儀有較高的幾何收集率和很高的量子效率，在束流低到10-11A時仍能有足夠的計數，所以分析時的最小束斑直徑可達5nm。8、分析速度能譜儀的分析速度快，能在幾分鐘內把能譜顯示出來。9、譜的失真能譜分析時存在譜的失真問題。四、分析方法及其應用能譜分析有四種基本方法：定點定性分析、線掃描分析、面掃描分析和定點定量分析。要得到準確的分析結果，除了試樣本身要滿足實驗要求外，還要選擇適宜的工作條件，如加速電壓、計數率和計數時間，X射線出射角等。（1）加速電壓為了得到某一元素某一線系的特徵