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本发明公开了一种超表面透镜的制备方法及超表面透镜，方法包括：获取第一衬底；在所述第一衬底表面上生长，第一生长基底；在所述第一生长基底上生长第一保护层；在所述第一保护层上生长作为纳米结构的第一加工层；在所述第一加工层的表面上涂覆光刻胶；使用光罩光刻，刻蚀涂覆光刻胶后的第一加工层，获取第一超透镜结构，并对所述光刻胶清洗去除；获取高温透明基材，通过高温键合的方式，将所述第一超透镜结构键合在所述高温透明基材的一侧面上；高温键合退火后，去除所述第一衬底和所述第一生长基底，获取单面超表面透镜。通过本发明公开
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117826285A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202410072282.X
(22)申请日2024.01.17
(71)申请人合肥和光微电子科技有限公司
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