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主讲人：胡觉昆明理工大学KunmingUniversityofScienceandTechnology材料测试分析方法X射线光电子能谱分析1

目录01X射线光电子能谱概述02X射线光电子能谱机理03X射线光电子能谱仪04X射线光电子能谱测试及应用05X射线光电子能谱应用实例

01X射线光电子能谱概述

一、X射线光电子能谱概述X射线光电子能谱（XPS，全称为X-rayPhotoelectronSpectroscopy）是一种基于光电效应的电子能谱，它是利用X射线光子激发出物质表面原子的内层电子，通过对这些电子进行能量分析而获得的一种能谱，是一种能对物质表面元素化学成分和元素化学态分析的分析技术。这种能谱最初是被用来进行化学分析，因此又被称为化学分析电子能谱（ESCA，全称为ElectronSpectroscopyforChemicalAnalysis）

一、X射线光电子能谱概述X射线光电子能谱是由瑞典物理学家K.Siegbahn（凯-西格巴恩）于60年代中期研制开发出的一种新型表面分析仪器和方法，是一种相对相对较新的分析测试谱学，但是发展非常迅速。鉴于K.Siegbahn教授对发展XPS领域做出的重大贡献，他被授予1981年诺贝尔物理学奖。瑞典物理学家K.Siegbahn

X射线光电子能谱的优点：（1）固体样品用量小，不需要进行样品前处理，从而避