原子力显微镜.pptxVIP

主讲人：吴鉴昆明理工大学KunmingUniversityofScienceandTechnology材料测试分析方法原子力显微镜1

目录01扫描探针显微镜（SPM）简介02原子力显微镜（AFM）的原理03原子力显微镜（AFM）的结构04原子力显微镜（AFM）的成像模式和应用模式05原子力显微镜（AFM）的图像示例

01扫描探针显微镜（SPM）简介

一、扫描探针显微镜（SPM）简介电子显微镜扫描电镜SEM透射电镜TEM扫描探针显微镜SPM扫描隧道显微镜STM原子力显微镜AFM背散射电子二次电子俄歇电子吸收电子样品透射电子特征X射线阴极射线入射电子SEMTEMSEM和TEM：“看”样品SPM：“摸”样品望闻问切SPM原理：利用尖锐探针在样品表面上方扫描，通过探测针尖与样品间的相互作用差异获得样品的表面信息。

一、扫描探针显微镜（SPM）简介1nm0.1nm10nm100nm1μm10μm100μm1mm10mm晶体管头发原子近场光学显微镜光学显微镜扫描探针显微镜透射电子显微镜扫描电子显微镜光散射显微镜

一、扫描探针显微镜（SPM）简介扫描探针显微镜（SPM）原子力显微镜AFM扫描隧道显微镜STM扫描探针显微镜SPM原子力显微镜AFM扫描隧道显微镜STM测试原理原子间作用力隧道电流探针材质Si或Si3N4Pt/Ir或W样品导体、半