原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请实施例提供一种涂层材料和集成电路及制备方法、电子设备。涂层材料包括：聚羟基苯乙烯衍生物。聚羟基苯乙烯衍生物至少包括聚羟基苯乙烯和吸光基团，吸光基团用于光的吸收。聚羟基苯乙烯的苯环上的至少一个氢原子被吸光基团取代。与小分子玻璃体系相较，聚羟基苯乙烯衍生物具有较高成膜性和较佳的抗刻蚀性能，因此，可以保证包含该聚羟基苯乙烯衍生物的涂层材料具有较高成膜性和较佳的抗刻蚀性能。进一步的，涂层材料的吸光性能，由聚羟基苯乙烯衍生物中的吸光基团所决定，可以通过调节引入的吸光集团来调节涂层材料n、k值，进而可
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117820910A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202310014268.XG03F7/004(2006.01)
(22)申请日2023.01.
文档评论（0）