膜厚测试方法.pptxVIP

主讲人：张呈旭昆明理工大学KunmingUniversityofScienceandTechnology材料测试分析方法膜厚分析

目录01薄膜和膜厚的定义02膜厚测试方法

01薄膜和膜厚的定义

一、薄膜和膜厚的定义薄膜的定义薄膜在科学上的定义为：由原子，分子或离子沉积在基片表面形成的二维材料。目前，薄膜材料已是材料学领域中的一个重要分支,它涉及物理、化学、电子学、冶金学等学科，在国防、通讯、航空、航天、电子工业、光学工业等方面有着特殊的应用。在薄膜的所有性能指标中，薄膜的厚度是衡量其质量的主要指标。

一、薄膜和膜厚的定义膜厚的定义膜厚常用的有形状表面ST、物性表面SP、质量表面SM。基片表面为S，则：薄膜的不在基片那一侧表面的平均表面称为薄膜的形状表面ST；在测量了薄膜的物理特性后，把具有同样物理性质而且宽度与长度与薄膜是一样的块状材料的表面称为薄膜物性表面SP。将基片上构成薄膜的全部原子重新排列，使其密度与块状材料完全一样，而且均匀的分布在基片表面上，把此时得到的表面称为薄膜的质量表面SM；台阶仪、石英晶振、椭偏仪这三种常用的测量方法测得的薄膜厚度，分别属于形状膜厚，质量膜厚，物性膜厚。

02膜厚测试方法

二、膜厚测试方法—台阶仪法台阶仪的测针以十分微小的力轻轻划过样品表面，样品表面微米甚至纳米级别的高低起伏通过与测针连接的传感器得到千百万倍的放大，然后被转换成电子信