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本发明公开了一种基于光谱共焦的压电陶瓷d15参数测量装置以及方法。该装置包括光源、分光镜、色散透镜组、横向位移台、纵向位移台以及光谱信号处理模块。待测试的压电陶瓷叠堆设置于横向位移台和纵向位移台之间，从光源发出的光经过分光镜后到达色散透镜组，经色散透镜组入射到横向位移台，经过横向位移台反射回色散透镜组，经过分光镜透射返回光谱信号处理模块进行处理，从而求得横向位移台的位移值，将该位移值同施加的给定电压相除求得压电陶瓷叠堆的d15参数。本发明技术方案采用光学测试方法可以直接测量其逆压电效应，同时可以
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110230986A
(43)申请公布日
2019.09.13
(21)申请号20191
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