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本发明涉及一种具有温度控制的微区电阻率测量装置，其特征在于该装置包括温度控制单元、电极支架、电极圆盘、电极、测试平台、橡胶垫、单片机控制板、触摸屏、蜂鸣器和报警灯；所述温度控制单元包括外腔和内腔，内腔包裹在外腔内，所述外腔为真空腔，内腔由孔板分成左右两个部分，左部分为温控腔，右部分为恒温腔，温度控制单元的右侧设有密封门，温度控制单元的外表面上设有触摸屏、蜂鸣器和报警灯，在密封门的内表面固定单片机控制板；温控腔的内表面上安装有半导体制冷晶片，在恒温腔内通过温度传感器支架固定安装有温度传感器；所述测
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN106707025A
(43)申请公布日
2017.05.24
(21)申请号20161
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