原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请公开了一种耐腐蚀蠕动泵管及用于化学气相沉积炉的蠕动泵，所述蠕动甭管，包括泵管本体，所述泵管本体为双层软管，所述双层软管的内层材质是弹性耐腐蚀树脂；所述蠕动泵管的泵管内层采用耐腐蚀材料，能够抵抗MTS等腐蚀性化学品的侵蚀，有效避免泵管的腐蚀泄漏，泵管外层则对泵管内层提供额外的机械强度和保护，不仅提高了泵管对MTS等腐蚀性化学品的耐腐蚀性，还能在泵管内层破裂时防止化学品泄漏到环境中，进一步降低化学品泄漏风险；本公开的蠕动泵采用了所述耐腐蚀泵管，有效解决由MTS腐蚀引起的安全、环保等问题，为CV
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117823727A
(43)申请公布日2024.04.05
(21)申请号202410015600.9F16L58/18(2006.01)
文档评论（0）