超薄浮法电子玻璃.docx

1超薄玻璃的定义及其应用

超薄玻璃是指厚度1.3mm以下，具有高透光率、高平坦性、高精密度和轻薄等特征，表面极其平整的薄玻璃片，可以用于TN/STN、TFT、OLED、TP等平板显示器用的基板玻璃和盖板玻璃，是平板显示器产业的关键基础材料之一。

2超薄玻璃生产工艺

超薄玻璃生产的工艺方法：溢流法、流孔下拉法、平拉工艺、浮法工艺等。

生产工艺过程：原料制备→玻璃熔制（包括熔化、预澄清）→澄清→成形→退火→检测→切裁→清洗→装箱入库。目前浮法和溢流法是超薄玻璃主要的生产工艺，超薄玻璃品种及生产工艺如表1所示。

表1超薄玻璃品种及生产工艺

2超薄玻璃生产工艺

LCD基板玻璃分为含碱玻璃及无碱玻璃两大类。含碱玻璃多应用于TN/STN-LCD，该类玻璃主要采用浮法工艺生产；无碱玻璃则用于TFT-LCD，该类玻璃主要采用溢流法工艺生产。

盖板玻璃主要用于触摸屏面板，有三种玻璃：钠钙硅玻璃、高铝硅酸盐玻璃、锂铝硅酸盐玻璃。盖板玻璃是通过离子交换来提升自身强度，达到玻璃强化的目的，并且离子交换后玻璃的耐冲击性、表面硬度得到显著提升。

2.1溢流下拉法

该工艺是让黏度为20000Pa·s的熔融玻璃液从熔化部流入料槽或溢流管，玻璃液流分开并从料槽两侧溢流，在耐火材料的根部又重新合为一体从而形成平板玻璃。通常用于生产0.3～1.1mm的薄玻璃。用该工艺成形的平板玻璃的组分范围较广，生产出的玻璃与浮法玻璃具有一样的表面质量，因而目前大多数LCD玻璃基板厂家采用此工艺。溢流下拉法的生产能力为5～20t/d，可生产厚度0.3～1.1mm的超薄平板玻璃。图1为溢流下拉法装置示意。

图1溢流下拉法生产装置示意

2.2流孔下拉法

流孔下拉法是将熔融玻璃液导入由铂合金制成的流孔漏板槽中，在重力的作用下玻璃液流出，再通过滚轮碾压、冷却室固化成形。流孔大小和下引速度决定玻璃厚度，温度分布决定玻璃的平整度。流孔在此工艺中的作用十分重要，其尺寸稳定与否关系到玻璃厚度是否均匀、表面是否平坦等关键指标，但由于外力作用流孔可能变形，良率就会出现波动。另外由于玻璃表面与槽口、滚轮接触，所以平整度也会受到影响，故此流孔下拉法也需要后段抛光加工。但目前由于此工艺优势不明显，已逐渐被淘汰。图2为流孔下拉法示意。

图2流孔下拉法生产装置示意

2.3浮法

浮法制造工艺是应用最广泛的平板玻璃制造工艺。该法是将熔融玻璃液传输至装有熔融液态锡的沟槽，利用锡和玻璃的密度差，在玻璃液表面张力和重力作用下自然摊平，再拉薄成形，该工艺通过拉边机数量、调节操作参数来控制玻璃板的厚度，厚度可达0.3mm。浮法的优势在于产能高、易于玻璃基板面积尺寸的扩大，成本低于其他工艺；但是浮法工艺用于生产TFT基板玻璃，需要后段进一步研磨、抛光等加工，后处理带来的开销又抵消了部分成本优势。浮法以前主要用于TN/STN玻璃基板，后来旭硝子成功利用浮法制造无碱玻璃基板，成为浮法制造TFT玻璃基板的代表。图3为浮法生产示意。

图3浮法生产线示意

2.4平拉工艺

该工艺可生产出厚度为0.6～1.1mm的薄玻璃，而且只有少量原片可作平板显示器基板。生产出的薄玻璃表面质量与浮法无法相比，但由于其生产成本很低，目前仍有个别厂家采用此工艺。

2.5主要超薄玻璃成形技术比较

根据成形工艺和方法的不同，主要超薄平板玻璃成形技术性能指标见表2。

表2主要超薄平板玻璃成形技术比较

3超薄浮法玻璃产品种类

采用浮法工艺可以生产TN/STN-LCD、TFT-LCD、盖板玻璃等基板玻璃。

3.1TN/STN-LCD玻璃基板

TN/STN-LCD基板一般是含碱的钠钙硅超薄平板玻璃，采用浮法工艺生产。为了满足超薄浮法玻璃成形需要，合理选择和使用锡槽成形附属设备，优化成形控制，是生产超薄浮法玻璃的关键。

3.1.1生产工艺特点

（1）合理使用拉边机

拉边机作为浮法玻璃的主要成形设备之一，在超薄玻璃生产中，起着节流、拉薄、控制原板走向的重要作用。合理选取1#拉边机位置、拉边机间距、速度分布、角度分布、机头的压入深度，控制拉边机各参数的严格对称性，对于减少玻璃带横向收缩，实现玻璃逐级拉伸及横向展薄，保证超薄玻璃带运行的稳定性和成形过程的顺利进行是很重要的。

（2）使用直线电机

在高温区配置直线电机，增加锡液横向流动，减少玻璃带横向温差，形成一个均匀的温度场，利于玻璃液摊平、抛光，提高玻璃表面及光学质量；在出口端设置密闭扒渣装置，及时清除锡渣，减少粘锡、划伤。

（3）挡畦的使用

高温的锡液向下游流动，较冷的锡液向上游返回流动，冷热流股在拉薄区相遇，从而使玻璃表面各微区冷热不均。配合石墨挡坎，在锡槽中温区两侧使用挡畦，有效阻挡边部返流冷锡液对玻璃成形质量的影响。

（4）特异型冷却器的使用

增设特异型冷却器，可以调整冷