原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型公开了一种光刻机晶圆放置板更换机构，涉及晶圆载台配件领域，包括有呈空心结构的载台，所述载台的顶部开设有凹槽，凹槽内部搭接有可升降的放置板，所述放置板的底端向下延伸形成一对对位块，所述对位块的外侧均拆卸式连接有限位座，对称分布的一对所述限位座的底部连接有同一联动板。本实用新型可控制载台内部的伺服电机运转，驱动第二导向座的突起部分转动挤压第一导向座的突起部分，第一导向座、联动板同步上升，直至限位座、对位块向上露出载台。即可在限位座上实施对位块的拆卸操作，以达到拆卸、更换放置板的目的，能够及
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220752519U
(45)授权公告日2024.04.09
(21)申请号202322532197.0
(22)申请日2023.09.18
(73)专利权人安徽国芯智能装备有限公司
地址
文档评论（0）