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本发明涉及成像检测技术领域，特别涉及一种显微成像系统的离焦检测装置及方法。该装置包括：一个控制器以及沿光轴依次设置的一个编码盘、一个高倍显微物镜、一个探测器，编码盘柱面上设置有多个均匀分布的圆孔，每个圆孔均用于为探测器提供探测目标，以使控制器获取成像数据；高倍显微物镜用于将每个圆孔成像在探测器上；探测器设置于圆孔成像的基准焦平面，用于接收每个圆孔成的像，并在探测器上形成一个像斑；控制器与探测器电连接，控制器用于获取每个像斑的成像数据，并对成像数据进行计算，得到编码盘的离焦量；成像数据包括像斑在像
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117848679A
(43)申请公布日2024.04.09
(21)申请号202410034900.1
(22)申请日2024.01.09
(71)申请人北京控制工程研究所
地址100
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