GB/T 31353-2014蓝宝石衬底片弯曲度测试方法.pdf

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道2

中华人民共和国国家标准

GB/T31353-2014

蓝宝石衬底片弯曲度测试方法

Testmethodsforbowofsapphires1:ostrat臼

2014-12-31发布2015-09-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T31353-2014

目U昌

本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）和全国半导体设备和材料标准

化技术委员会材料分会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口。

本标准起草单位：江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、

北京合能阳光新能源技术有限公司。

本标准主要起草人z薛抗美、魏明德、黄修康、杭寅、林清香、肖宗杰。

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GB/T31353-2014

蓝宝石衬底片弯曲度测试方法

1范围

本标准规定了蓝宝石切割片、研磨片、抛光片（以下简称蓝宝石衬底片）弯曲度的测试方法。

本标准适用于直径50.8mm~304.8mm，厚度为不小于200µm的蓝宝石衬底片弯曲度的测试。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL)检索的逐批检验抽样计划

GB/T6619硅片弯曲度测试方法

GB/T14264半导体材料术语

3术语和定义

GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件③

3.1

弯曲度bow

自由元夹持晶片中位面的中心点与中位面基准平~···写的偏离。

3.2

中位面基准平面mediansurfacereferenceplane

由指定的小于晶片标称直径的直径圆周上的3个等旦离点决定的平面。

4方法提要

4.1接触式测试

将蓝宝石衬底片放置在基准环的3个支点上，3支点形成一个基准平面，利用低压力位移指示器测

试蓝宝石衬底片中心点偏离基准平面的距离，翻转衬底片，重复测试。两次测试值之差的一半表示衬底

片的弯曲度。

4.2非接触式测试

将蓝宝石衬底片放置在基准环的3个支点上，3个支点形成一个基准平面，利用非接触式位移传感

器测试蓝宝石衬底片中心点偏离基准平面的距离，翻转衬底片，重复测试。两次测试值之差的一半表示

衬底片的弯曲度。

4.3白光干涉式测试

激光照射蓝宝石衬底片表面，光经过反射相互叠加干涉，干涉图经光学成像系统记录，开始高低形

貌测试F物镜在Z轴方向上不断微小的移动，在每个移动位置上，光学成像系统进行拍照收集图片，形

GB/T31353-2014

成整个三维形貌数据。经信号处理系统后得到衬底片的弯曲度。

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