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2024-04-10 发布于四川
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晶圆储存装置及其方法.pdf

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本发明提供一种晶圆储存装置及其方法，包括一晶圆存放组件，晶圆存放组件包含有定位柱、上盖件、下承载件、及晶圆承载件，晶圆存放组件的左右两侧分别设有左侧夹持组件及右侧夹持组件，下承载件或左侧夹持组件及右侧夹持组件连接有一纵向带动机构，其中左侧夹持组件包含有左侧支撑件、左上夹爪、及左下夹爪，右侧夹持组件包含有右侧支撑件、右上夹爪、及右下夹爪，左侧夹持组件会经由一左横向带动机构所带动，而右侧夹持组件会经由一右横向带动机构所带动，借此夹持晶圆存放组件中的上盖件或各晶圆承载件，以配合纵向带动机构的带动方式，

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117855115A

(43)申请公布日2024.04.09

(21)申请号202211210910.3

(22)申请日2022.09.30

(71)申请人乐华科技股份有限

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