一种OPC修正方法及OPC修正系统.pdfVIP

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  • 2024-04-10 发布于四川
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本发明提供了一种OPC修正方法及OPC修正系统。具体的,在确定出包含金属层版图或通孔层版图的原始版图的版图数据之后,基于该版图数据中所包含的具有边角的线条端点图形的线边边长,将所述线条端点图形的多条线边按照不同的长度划分成两个线边集合,然后针对所述两个线边集合分别采用不同的切分点分割间距进行线边的切分点设置,由于其在为金属层版图和/或通孔层版图上的线条端点图形的边角所对应的线边进行切分点设置时,可以针对不同的线边边长设置不同的切分点分割间距,即保证了所述边角所对应的线边上至少可以设置一切分点且至

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117850154A

(43)申请公布日2024.04.09

(21)申请号202410259333.X

(22)申请日2024.03.07

(71)申请人合肥晶合集成电路股份有限公司

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