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2024-04-10 发布于四川
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一种波带片离轴成像检测装置.pdf

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本公开提供一种波带片离轴成像检测装置，包括：依次设置的掩模检测位、波带片、调制板以及图像采集部件；其中，所述掩模检测位是指待检测的光刻掩模放置的位置；所述掩模检测位和图像采集部件设置在所述波带片的光轴上；入射光以偏离所述波带片的光轴预设角度的入射角穿过所述波带片照射在所述光刻掩模上形成反射光场，所述反射光场经过所述波带片后形成汇聚光场，所述汇聚光场经过所述调制板后形成调制光场传播至所述图像采集部件处被接收。相较于现有技术，本申请采用波带片离轴成像，能够在成像面分离衍射一级光和零级光，从而提高掩模

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117850179A

(43)申请公布日2024.04.09

(21)申请号202311657868.4G03F7/20(2006.01)

(22)申请日2023.12.0

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