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MEMS介质的介电应变特性研究的开题报告
一、选题背景
MEMS技术在传感器领域中得到了广泛的应用，而其中介质材料的选择和性能对MEMS器件的性能起着至关重要的作用。介电应变特性是介质材料的重要性能之一，它反映了材料在电场作用下的变形程度，具有很高的实用价值和研究意义。
二、研究目的和意义
本文拟从介质材料中介电应变特性方面入手，对材料的性能进行深入研究，以期在MEMS器件中选择合适的材料，并且优化设计方案，从而提高MEMS器件的性能和稳定性。
三、研究内容
1.结合前人研究成果，总结介电应变特性的研究进展。
2.研究不同材料的介电应变特性，并通过实验数据分析得出其特性曲线。
3.对材料的物理化学性质、晶体结构等进行分析，并探究其对介电应变特性的影响。
4.结合实验数据和分析结果，评估不同材料的适用性，并进一步优化器件设计方案。
四、研究方法
1.采用模拟计算和实验方法，研究不同材料的介电应变特性。
2.对材料的物理化学性质、晶体结构等进行分析，探究其对介电应变特性的影响。
3.结合实验数据和分析结果，评估不同材料的适用性，并进一步优化器件设计方案。
五、预期结果
通过对不同材料的介电应变特性进行研究，可以得出材料的介电常数、应变灵敏度等参数，并进一步评估不同材料的适用性。同时，本文在上述研究的基础上，将设计出针对不同材料的MEMS器件，并在实验中得出其性能和稳定性表现的数据。
六、可行性分析
本研究所采用的研究方法和手段已经得到了广泛的应用和验证，并且实验设备和技术条件已经具备，研究可行性较高。
七、研究进度安排
2021年9月-2021年10月：文献资料搜集，研究文献综述，设计研究方案。
2021年11月-2022年3月：搭建实验平台，开展实验研究，获得实验数据。
2022年4月-2022年8月：分析数据，评估材料适用性，优化器件设计方案。
2022年9月-2022年11月：完成研究报告及论文撰写。
八、参考文献
[1]张开顺,薛勇,贾永红.电场和结构非对称对MEMS悬臂梁感度的影响[J].纳米技术,2010(06):008-010.
[2]赵波,邹慧,梁明,等.湿度对多晶硅柱阵列传感器敏感性的影响[J].物理学报,2013,62(5):057703.
[3]曹星亮,何剑嵘,孟青.MEMS毫米级超声波传感器性能的分析研究[J].物理学报,2010,59(12):8792.
[4]王启哲,王惠民,王德,等.数字微互连技术在MEMS陀螺仪中的应用[J].光学精密工程,2010(04):756-760.
[5]王宇辉,曾飞,马秀珍,等.基于磁阻式效应的混合式角位移传感器[J].光学精密工程,2009(S2):197-202.
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