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本发明公开了一种高性能惯性传感器的工艺制备流程中在线调频方法，包括：提供具有顶部平面和底部平面的第一基板；提供具有上平坦表面的第二基板；将第二基板的一部分从上平坦表面蚀刻，形成多个凸起和浅腔，每个凸起具有上平坦表面；将第一基板的顶部平面结合到凸起的上部平坦表面形成锚固部分；刻蚀掉第一基板的一定位置的氧化物层；从底部表面和/或顶部表面蚀刻第一基板的一部分至第一基板的总厚度，将透明封盖晶圆蚀刻至预定深度以形成顶部凹槽，并将透明封盖晶圆与结构晶圆在高真空条件下使用玻璃料粘结来完成真空键合；顶层封盖完成
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117865060A
(43)申请公布日2024.04.12
(21)申请号202410051527.0
(22)申请日2024.01.15
(71)申请人中国兵器工业集团第二一四研究所
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