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一种双压电薄膜压电超声换能器，包括自下而上依次层叠的衬底、种子层、底部电极层、顶部电极层、绝缘层和引线层，所述衬底自下而上包括底硅层、埋氧层和结构硅层，该衬底的中心开设有空腔，该空腔由所述底硅层截止到埋氧层，并在所述结构硅层呈圆弧状；在所述底部电极层和顶部电极层之间自下而上设有第一压电层和第二压电层，所述第一压电层可确保第二压电层生长的高c轴取向，从而使在相同激励电压下，双层压电层具备更高动态振幅。本发明结合利用应力优化器件性能的方法，有效提升了器件的动态振幅，且具有双层压电薄膜，在同电压激励下
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117861984A
(43)申请公布日2024.04.12
(21)申请号202311860373.1
(22)申请日2023.12.31
(71)申请人上海大学
地址200444
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