一种用于多角度测量激光等离子体产生的极紫外光的装置.pdfVIP

下载本文档

1
0
约1.36万字
约 12页
2024-04-13 发布于四川
举报
版权申诉

一种用于多角度测量激光等离子体产生的极紫外光的装置.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本公开涉及极紫外光源技术领域，是一种用于多角度测量激光等离子体产生的极紫外光的装置，包括：机械构件，用于安装和设置光学组件和极紫外光发生单元；光学组件，用于产生激光，实现产生的极紫外光的光通量和光斑大小的探测；极紫外光发生单元，用于产生极紫外光；控制单元，用于控制机械构件及安装于机械构件上的光学组件和极紫外光发生单元。利用本公开，固体靶材被激光烧灼产生的等离子体产生的极紫外光通过第一滤光片后再通过一个针孔后到达背照射CCD相机，从而得到极紫外光的光斑大小；转动电动机械转台，等离子体产生的极紫外光

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117870861A

(43)申请公布日2024.04.12

(21)申请号202311864643.6

(22)申请日2023.12.29

(71)申请人深圳半岛医疗集团股份有限公司

地址

您可能关注的文档

文档评论（0）

知识产权出版社 + 关注: 官方认证

文档贡献者

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

咨询Ta 进入空间

用户编号：5333241143000144

认证主体北京中献电子技术开发有限公司

IP属地四川

统一社会信用代码/组织机构代码: 91110108102011667U

1亿VIP精品文档

更多 >

一种用于多角度测量激光等离子体产生的极紫外光的装置.pdfVIP