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本发明提供一种Z轴磁场传感器，包括至少一个Z轴磁感应单元。该Z轴磁感应单元，包括：在基板所在平面成对称封闭区域的磁通聚集器，串联或并联的2N个磁阻单元，N为正整数。磁阻单元均匀地分布在所述磁通聚集器内侧、邻近所述磁通聚集器的部分内侧边缘。2N个磁阻单元的灵敏方向统一朝向磁通聚集器的内侧或外侧、均垂直磁通聚集器某一内侧边缘分段的切线方向。2N个磁阻单元分为N个磁感应对，同一个磁感应对的两个磁阻单元的灵敏系数相同、灵敏方向相反，且所在位置的Z轴磁场的转换磁场大小相同、方向相反。本发明的Z轴磁场传感器
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117872236A
(43)申请公布日2024.04.12
(21)申请号202311678504.4
(22)申请日2023.12.07
(71)申请人先进能源科学与技术广东省实验室
地
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