电子束和离子束加工.ppt

3、离子注入加工离子注入是将工件放在离子注入机的真空靶中，在几十至几百千伏的电压下，把所需元素的离子注入工件表面。离子注入工艺比较简单。它不受热力学限制，可以注入任何离子，而且注入量可以精确控制。注入的离子固溶于工件材料中，含量可达10%～40%，注入深度可达1?m甚至更深。由于离子注入本身是一种非平衡技术，它能在材料表面注入互不相溶的杂质而形成一般冶金工艺所无法制得的一些新的合金。不管基体性能如何，它可在不牺牲材料整体性能的前提下，使其表面性能优化，而且不产生任何显著的尺寸变化。但是，离子注入的局限性在于它是一个直线轰击表面的过程，不适合处理复杂的凹入的表面样品。第32页,共36页，2024年2月25日，星期天除了常规的离子注入工艺之外，近年来又发展了几种新的工艺方法如反冲注入法、轰击扩散镀层法、动态反冲法以及离子束混合法等，从而使得离子注入加工技术的应用更为广泛。离子注入在半导体方面的应用，目前已很普遍。它是将硼、磷等“杂质”离子注入半导体，从而改变导电型式(P型或N型)，以制造一些通常用热扩散难以获得的各种特殊要求的半导体器件。由于离子注入的浓度、深度和注入区域均可精确控制，所以成为制作半导体器件和大面积集成电路的重要手段。离子注入表面改性是离子注入加工技术应用的另一个重要领域。离子注入可用以改变金属表面的物理化学性能，可以制得新的合金，从而改善金属表面的耐磨性能、耐腐蚀性能、抗疲劳性能和润滑性能等。第33页,共36页，2024年2月25日，星期天离子注入可以改善金属材料的耐磨性能。如在低碳钢中注入N、B、Mo等元素以后，在磨损过程中，材料表面局部温升形成温度梯度，使注入离子向衬底扩散。这样不断在表面形成硬化层，提高了材料的耐磨性能。离子注入可以提高金属材料的硬度。这是因为注入离子及其凝聚物将引起材料晶格畸变、缺陷增多的缘故。如在纯铁中注入B，其显微硬度可提高20%。将硅注入铁，可形成马氏体结构的强化层。离子注入可以提高材料的耐腐蚀性能。如将Cr注入Cu，能得到一种新的亚稳态的表面相，从而改善材料的耐腐蚀性能。第34页,共36页，2024年2月25日，星期天对Fe-13Cr-15Ni试样进行离子注入处理，当同时注入B和N两种元素后，材料的疲劳寿命增幅较大。其原因在于强化的基体抑制了滑移带的形成，从而提高其疲劳寿命。离子注入还可改善金属材料的润滑性能。离子注入表层后，在相对摩擦过程中，被注入的细粒起到了润滑作用，提高了材料的使用寿命。如把C、N注入碳化钨中，其工作寿命可大大延长。离子注入表面改性的生产效率低、成本高，目前尚处于研究阶段，需要进一步的深入研究。第35页,共36页，2024年2月25日，星期天感谢大家观看第36页,共36页，2024年2月25日，星期天关于电子束和离子束加工第一节电子束加工?一、电子束加工的基本原理和特点1、基本原理电子束加工是在真空条件下，利用聚焦后能量密度极高的电子束，以极高的速度（当加速电压为50V时，电子速度可达1.6×105km/s）冲击到工件表面的极小面积上，在极短的时间(几分之一微秒)内，其能量的大部分转变为热能，使被冲击部分的工件材料达到几千摄氏度以上的高温，从而引起材料的局部熔化和气化，而实现加工的目的。这种利用电子束热效应的加工，称为电子束热加工。第2页,共36页，2024年2月25日，星期天电子束加工的另一种是利用电子束流的非热效应。功率密度较小的电子束流和电子胶相互作用，电能转化为化学能，产生辐射化学或物理效应，使电子胶的分子链被切断或重新组合而形成分子量的变化以实现电子束曝光。采用这种方法，可以实现材料表面微槽或其他几何形状的刻蚀加工。第3页,共36页，2024年2月25日，星期天特征线宽:100nm对准精度：15nm定位精度：2nm刻蚀深度：0.5μm由制造运动平台的

极高准确度保证大型集成电路制造第4页,共36页，2024年2月25日，星期天2、电子束加工的特点（1)由于电子束能够极其微细地聚焦，甚至能聚焦到0.1?m,所以加工面积可以很小，是一种精密微细的加工方法。微型机械中的光刻技术可达到亚微米级宽度。（2）电子束能量密度很高，在极微小束斑上能达到106～109w/cm2，使照射部分的温度超过材料的熔化和气化温度，去除材料主要靠瞬时蒸发，是一种非接触式加工。工件不受机械力作用，不产生宏观应力和变形。加工材料范围很广，对脆性、韧性、导体、非导体及半