脉冲激光沉积ZnSe：Co_(x)纳米晶薄膜的微结构及光学性质研究.pdfVIP

第61卷第1期真空VACUUMVol.61，No.1

2024年1月Jan.2024

脉冲激光沉积ZnSe:Co纳米晶薄膜的微结构及光学性质研究x*

李树锋，王丽，高东文122

（1.中国人民警察大学警务装备技术学院，河北廊坊065000；2.北京工业大学理学部物理与光电工程系，北京100124）

摘要：采用脉冲激光沉积技术在基片温度为800℃条件下制备了不同Co含量的ZnSe:Co(x=0.1,0.3,x

0.5)微晶薄膜。通过X射线衍射、原子力显微镜、X射线光电子能谱、红外透射光谱及光致发光光谱分析

了薄膜的微结构及光学特性。结果表明：所制备的纳米晶薄膜结晶质量优秀，具有（111）择优取向，薄

膜结晶质量、光谱透射率和光学带隙均随Co含量的增加而减小；薄膜在波长约700~850nm处存在一吸

2+2-44

收带，这源于Co在周围Se构成的四面体晶场中A(4F)→T(4P)能级之间的跃迁；当Co掺入量x=0.5时，21

薄膜达到过掺杂状态，α-Co杂质相出现，薄膜红外光致发光谱大幅降低。

关键词：脉冲激光沉积；硒化锌掺钴；薄膜；光学性质

中图分类号：O472文献标识码：A文章编号：1002-0322（2024）01-0041-06

doi：10.13385/j.cnki.vacuum.2024.01.06

StudiesontheMicrostructureandOpticalPropertiesofNanocrystallineZnSe:CoThin

x

FilmPreparedbyPulsedLaserDeposition

LIShu-feng,WANGLi,GAODong-wen122

（1.CollegeofPoliceEquipmentTechnical,ChinesePeoplesPoliceUniversity,Langfang065000,China;

2.CollegeofPhysicsandOptoelectronics,FacultyofScience,BeijingUniversityofTechnology,Beijing100124,China）

Abstract：ZnSe:Co(x=0.1,0.3,0.5)nanocrystallinethinfilmsweredepositedonsapphiresubstratesbypulsedlaserdepositionatx

substratetemperatureof800℃.ThecrystalstructureandopticalpropertiesofthethinfilmswereinvestigatedbyX-raydiffraction,

atomicforcemicroscope,X-rayphotoelectronspectroscopy,opticaltransmittanceandphotoluminescencespectra.Theresultsshow

thatthethinfilmswithexcellentcrystallinequalityand(111)pre