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从支撑台卸载物体的方法.pdfVIP

从支撑台卸载物体的方法.pdf

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    一种在卸载过程期间从支撑台卸载物体的方法，所述物体在曝光过程期间通过以下方式被夹持到所述支撑台：向所述物体的中心部分下方的所述支撑台的中心区域施加第一压力；以及向物体的周缘部分下方的支撑台的周缘区域施加第二压力，其中在夹持期间控制所述第一压力和所述第二压力，使得液体被保持在物体与密封构件之间，所述密封构件在支撑台的上表面处径向地定位在所述中心区域与所述周缘区域之间，并且朝向所述物体突出，所述方法包括：朝向环境压力增大所述第一压力；通过减小所述第二压力来去除保持在所述物体与所述密封构件之间的液体中

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN110741319A

    (43)申请公布日

    2020.01.31

    (21)申请号20188

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