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本发明涉及湿法蚀刻技术领域，尤其是指一种通过气吹调整沟槽结构的蚀刻方法及所制得的金属散热片，主要包括以下步骤：B.通过传输机构把板件传输至蚀刻机构的正下方；D.电磁阀控制喷嘴与蚀刻液源连通，通过喷嘴往板件喷淋蚀刻液；E.由电磁阀控制喷嘴与蚀刻液源不再接通，使得板件被蚀刻液进行蚀刻而产生一级沟槽；F.通过部分电磁阀控制对应的部分喷嘴与气源接通，由喷嘴对板件吹气，以使得一级沟槽内的蚀刻液被气体分隔，从而对一级沟槽的部分内底壁继续进行蚀刻以形成二级沟槽。本发明通过电磁阀控制喷嘴在连通蚀刻液源与连通气源
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117888106A
(43)申请公布日2024.04.16
(21)申请号202311761506.X
(22)申请日2023.12.19
(71)申请人东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司
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