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中国半导体量测设备行业发展现状及

趋势分析

一、行业综述

半导体过程控制设备包括检测设备、量测设备和过程控制设备，广义的半导体量测设备

包括了Inspection和Metrology两大环节。半导体检测设备包括了异物缺陷、气泡缺陷和

颗粒缺陷，而半导体量测设备主要包括光刻套刻偏移量、薄膜膜厚和三维形貌。检测指在晶

圆表面上或电路结构中。量测指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出的量化描

述，如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数的量测。

过程控制设备分类及占比情况

过程控制设备分类及占比情况

资料来源：公开资料，产业研究院整理

二、政策环境

全球半导体化学品市场主要被欧美和日韩企业占据，但随着电子产业向中国转移、美国

对中国半导体产业的封锁和国内配套产业链的完善，未来不断实现进口替代是国内半导体产

业的趋势所向。国家近年对半导体产业的支持力度，以及下游产能扩张，推动国内半导体产

业链迎来了高速发展的历史机遇。

中国半导体行业相关政策梳理

中国半导体行业相关政策梳理

资料来源：政府公开报告，产业研究院整理

相关报告：产业研究院发布的《2023-2029年中国半导体量测设备行业市场全景评估及

投资策略咨询报告》

三、产业链

国家将数字经济作为核心发展战略之一，半导体作为新一代信息技术的核心，是数字经

济时代基石。要抓住新一轮科技和产业革命机遇，离不开半导体产业的发展。半导体行业经

济体量巨大，是由上游支撑产业、中游制造产业和下游应用产业构成。尤其是下游应用领域

不断拓宽。

半导体量测设备产业链

半导体量测设备产业链

资料来源：公开资料，产业研究院整理

四、行业发展现状

1、全球半导体设备销售额

随着信息技术逇快速发展，全球对于半导体的需求急速增加，全球半导体设备销售额快

速增长。据统计2022年销售额达到1076亿美元，同比增长4.87%。未来对于半导体的需求

将进一步增加，销售额将会持续稳定增长。

2017-2022年全球半导体设备销售额及增速情况

2017-2022年全球半导体设备销售额及增速情况资料来源：公开资料，产业研究院整理

2、全球半导体检测和量测设备市场情况

全球半导体检测和量测设备市场规模逐年增长，据统计，2020年市场规模达76.5亿美

元，同比增长20.09%，2016年市场规模为47.6亿美元，增长幅度达60.71,2016年到2020

年复合增长率为12.59%。

2016-2020年全球半导体检测和量测设备市场情况

2016-2020年全球半导体检测和量测设备市场情况资料来源：公开资料，产业研究院整

理

3、中国半导体设备销售额

2022年全球半导体设备销售额1076.4亿美元，同比增长4.9%。分地区看，中国大陆半

导体设备销售额282.7亿美元同比减少4.6%，占全球份额26.3，连续三年成为全球最大半

导体设备市场。

2017-2022年中国半导体设备销售额及增速情况

2017-2022年中国半导体设备销售额及增速情况资料来源：公开资料，产业研究院整理

4、中国半导体检测和量测设备市场情况

中国半导体检测和量测设备市场规模逐年增长，据统计，2020年市场规模达21亿美元，

同比增长24.26%，2016年市场规模为7亿美元，增长幅度达60.71,2016年到2020年复合

增长率为12.59%。

2016-2020年中国半导体检测和量测设备市场情况

2016-2020年中国半导体检测和量测设备市场情况资料来源：公开资料，产业研究院整

理

5、设备销售份额

半导体测量设备中纳米图形晶圆缺陷检测设备销售额最高有18.9亿美元，占比为

24.7%，其次是掩膜版缺陷检测设备销售额为8.6亿美元，占比11.3%，销售额第三的为关

键尺寸量测设备，市场份额为7.8亿美元，占比10.2%。

半导体测量设备细分市场销售额情况

半导体测量设备细分市场销售额情况

资料来源：公开资料，产业研究院整理

五、市场竞争格局

半导体量测设备格局较为集中,科磊半导体(KLA)一家厂商市占率超过50%，CR5为

82.4%。主要是美系制造设备占比较高，而KLA在光学检测和软件建模等方