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一种无栅聚焦束离子源.pdfVIP

一种无栅聚焦束离子源.pdf

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    本发明属于等离子体技术领域，具体涉及一种无栅聚焦束离子源，包括底板、底板上的筒状外壳、筒状外壳中间设置的阳极、上磁靴和下磁靴，所述筒状外壳为中空的水冷外壳，所述阳极和上磁靴均为异形圆环，中间穿设置有异形中心磁靴，中心磁靴的下部设置有工作气体导入装置，阳极的下方设置有环状的水冷装置，水冷装置外周设置有圆环形的永磁铁，永磁铁的下方、外壳内设置有起支撑和导磁作用的下磁靴，水冷外壳、工作气体导入装置和水冷装置的下部经下磁靴穿出底板，所述阳极上方设置有上磁靴。本发明能长期稳定工作，有效提升工作气体利用率和

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117912922A

    (43)申请公布日2024.04.19

    (21)申请号202410164729.6

    (22)申请日2024.02.05

    (71)申请人西安工业大学

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