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基于迈克尔逊干涉的傅里叶变换散斑形貌测量技术研究的开题报告

一、选题背景

散斑形貌测量技术作为一种非接触式的测试方法，已经被广泛应用到微纳加工、光学制造、半导体器件等领域。其中，基于迈克尔逊干涉的散斑形貌测量技术因其简单、高精度、实时性等优点，在实际应用中得到了广泛的应用。

二、研究内容

本研究基于迈克尔逊干涉原理，探究傅里叶变换在散斑形貌测量中的应用。具体而言，研究内容包括以下几个方面：

1.迈克尔逊干涉原理及其在散斑形貌测量中的应用。

2.傅里叶变换原理及其在散斑形貌测量中的应用。

3.散斑形貌测量中常见的误差源及其对测量结果的影响。

4.基于迈克尔逊干涉的散斑形貌测量系统的设计及优化。

5.实验验证和数据分析。

三、研究意义

本研究的意义在于：

1.探究傅里叶变换在散斑形貌测量中的应用，可以提高系统的测量精度和实时性。

2.分析并研究散斑形貌测量中常见的误差源，为后续的测量结果提供参考依据。

3.设计优化基于迈克尔逊干涉的散斑形貌测量系统，提高系统的灵敏度和稳定性。

4.为相关领域的研究工作提供一定的参考和指导。

四、研究方法

本研究主要采用理论研究和实验验证相结合的方式，具体步骤如下：

1.掌握迈克尔逊干涉和傅里叶变换原理，理解散斑形貌测量中的误差来源和处理方法。

2.根据测量要求，设计并搭建基于迈克尔逊干涉的散斑形貌测量系统。

3.通过实验验证，分析数据并与理论计算结果进行对比，验证研究方法的正确性和可行性。

五、预期成果及进度安排

本研究预期达到如下成果：

1.掌握基于迈克尔逊干涉的散斑形貌测量技术及其在实际应用中的优缺点。

2.理解傅里叶变换在散斑形貌测量中的应用，建立相应的数学模型，提高测量精度和实时性。

3.分析并研究散斑形貌测量中常见的误差源及其对测量结果的影响，为实际应用提供参考依据。

4.分析并设计基于迈克尔逊干涉的散斑形貌测量系统，提高系统的灵敏度和稳定性。

进度安排如下：

任务|时间节点

---|---

文献阅读|1~3周

系统设计|4~8周

实验验证|9~12周

数据分析及论文撰写|13~16周

论文修改及完善|17~20周

六、参考文献

1.LiuJetal.SurfacetopographymeasurementbyMichelsoninterferometerusingFouriertransformfringeanalysis[J].OpticsExpress,2006,14(14):6162-6169.

2.GerchbergRW.Apracticalalgorithmforthedeterminationofthephasefromimageanddiffractionplanepictures[J].Optik,1972,35(2):237-246.

3.SarunicMVetal.Real-timeFourier-domainMichelsoninterferometrywithasingledetector[J].OpticsExpress,2008,16(8):6005-6011.

4.ZhaoY,HuangS,YanD.Separationandcorrectionofthebackgroundcarrierfringesinphase-shiftinginterferometry[J].AppliedOptics,2018,57(12):3279-3284.

5.MaulikD,ChakrabortyS,ChakrabartiS.Profilingofroughsurfacesusinglateralshearingcyclicpathopticalconfiguration[J].MeasurementScienceandTechnology,2017,28(10):105901.