氩气回收 政府设计书.docx

附录A

企业技术开发项目设计书

项目名称 氩气回收

企业名称 镇江荣德新能源有限公司企业法人（签名）

项目负责人 余刚 电话

项目起止时间 2011 年 1 月至 2012 年 1 月

填报日期 2011 年 2 月 9 日

江苏省科技厅2006年制

一、 立项依据

国内外现状、水平和发展趋势；

国内目前没有对多晶铸锭炉排放的氩气进行回收的项目，我们的兄弟单位最近做了一些在硅芯炉上取样分析的工作我。们已经将与2010年9月将氩气取样，在上

海国家检测中心检测过杂质指标。根据指标我们联系了国内外较大的气体回收处理厂家，请林德气体、中船重7工18所、东方气体等厂家来我厂实际交流，林德气体

因为有类似的项目在做，不会和我们合作。中船7重18工所项目较多，同时认为氩

气中分离氮气他们没有经验，暂不考虑。东方气体在氩气回收中已经积累了一定经验，我们现场也看到用于色谱分析仪用的氩气净化装置，同时东方气体的母公司竟立制氢是国内最大的气体回收厂家，规模比中船7重18工所大，东方气体作为子公

司专业做氩气、氢气的回收。选择了东方气体做我们的合作单位。来我公司实际交流合作，我们共同设计了氩气回收的基本流程，开会讨论确定了氩气回收流程图

目前国际上还没有成熟运行的此类项目，德国的专业气体公司林德气体公司和美国硅片专业制造商MEMC公司合作在马来西亚工厂在试验相似的项目。目前做

太阳能硅片的产能大部分集中在国内，国内有一些单位开始做一些氩气回用的项目

调研、试验。用一些氩气回收纯化设备来处理单晶炉、排放的氩气。我们进行的是

铸锭炉的氩气回用，我们的整个工艺带入的污染物与单晶炉相比数量较少，便于处理、回用。

项目开发的目的、意义；

目前氩气供应比较紧张，氩气价格又高。从改善低碳环境的角度出发，氩气回收将成为未来发展中一件很有意义的工作。减少了硅片的制造成本，减少了氩气的排放，循环使用节省了从空气中分离氩气所需的能耗。目前国际上还没有成熟运行的此类项目，德国的专业气体公司和美M国EMC合作在马来西亚工厂在试验。

回用整套设备运行成本：回0收.657元/每公斤（每立方米氩气需要费1用.17元，其中运行电费75度/台，耗材更换10.14元/台）， 管道改造的费用取决于每台回收装置计划回收多少台炉子的废气管，道改造预计18万；设备的占地面积为70m2人工4位，设备折旧，每回收100台炉子氩气纯化设备投资在90万元，总投资约320万，设备6年折旧，则每立的氩气回收设备折旧费0.为21元。将运行费用、设备投资相加，总计0.864元/公斤，（原来的氩气价格6000元/吨）将为生产节约费用：6-0.864=5.136元/公斤。每年需要氩气约9000吨（150台单晶，约200台多晶）按照回收60%以上计：9000*1000*5.136=4622万.4元/年

本项目达到的技术水平及市场前景。

我们在国内最早进行铸锭炉氩气回用，国外类似的项目德国的专业气体公司和美国MEMC合作在马来西亚工厂的试验项目还没有正常运行的信息。我们再铸锭炉氩气纯化环节中，借鉴了其他种类气体纯化领域的一些技术，用于氩气的纯化，

在铸锭炉内做一些工艺调整以适应这种纯化后的气体，以保证能顺利正常生产，目

前我们还没有看到国内外同行采用这些方法的类似报道。铸锭炉氩气回用工艺在国内外处于领先地位。

项目做成后可以节约：每使用一公斤氩气节5.省136元（按照氩气2010年市价6元/公斤，回用成本0.864元/公斤计算）。我公司每年可节省4622.4万元。项

目的经济效益、社会效益比较大。目前太阳能硅片使用的晶体生长炉很多（铸锭炉约在2000台、单晶炉约1500台），做这项工作很有意义。

二、开发内容和目标

项目主要内容、目标及关键技术；

将铸锭炉合炉抽空阶段的空气排放，关闭排气管上的阀门，将从铸锭炉里面排放出来的氩气引入回收纯化设备净化，净化好的氩气经过在线监测设备监测，不符合要求时排空，符合要求的氩气接入铸锭炉氩气进气管路回用，管路上装一个压力

变送器（回收到的氩气可能里面含N有，不能净化到一定的纯度我，们的铸锭炉有

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设置有一种材料，高温下的还原性较强可以优先消耗掉残留的N微）。量

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项目的主要目标：

除油器精滤除油

油含量2.8mg/m3 除油0.1mg/m3

反应转化分子筛法

2CO3000ppmCO112ppm CO、CO总量小于2ppm

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转化成CO2、吸气剂去除多余O2

2O 大于1000ppm O≤0.5ppm

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调节温度反应去除

2N260ppm N＜4ppm

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吸气剂去除

2HO85ppm HO≤3ppm（露点-68度）

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精滤

粉尘0.1mg/m3 过滤 0.01U，3.5个/L

去除下列杂质：

油含量2