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中华人民共和国电子行业标准
FL6190SJ21315-2018
旋涂及热板设备通用规范
Generalspecificationforspin-coatingandheat-dryingplatform
2018-01-18发布
2018一05-01实施
国家国防科技工业局发布
SJ21315-2018
吕
J
I
目
I
SJ21315-2018
旋涂及热板设备通用规范
1范围
本规范规定了旋涂及热板设备的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项等内容。
本规范适用于旋涂及热板设备（以下简亟拉车ι的设计、生产、检验和验收。
2规范性引用文件
下列文件中的每~
｜用文件，其随后所有的
修改单（不包含廿口
」儿；达成协议的各方研究
工量土飞见范。
是否可使用这
异常一一紧急一一含义
颜色操作人员的操作
故障状况
立即对危险状态进行处理
红
黄异常／符运行监视／干预
绿
正常正常状况正常操作
注：表中颜色、含义、说明及操作人员操作系采用GB/T4025的规定。
SJ21315-2018
义
含
其
及
色
颜
的
钮
按
作
操
备
设
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