热交换法生长蓝宝石.pdfVIP

摘要

蓝宝石具有一些列优异的光学、力学、热学性能，是抱负的红外窗口材料之

一。也是氮镓外延生长最常用的沉底材料之一。但蓝宝石晶体生长试验本钱高、

周期长，只靠郑家试验频率获得抱负的生长工艺，已不能满足蓝宝石向着更高质

量、更大尺寸方向进展的需求。引入晶体生长数值模拟技术，可以有效的削减试验

次数。节约本钱。

承受热交换发生长老宝石晶体，一句晶体生长理论，对生长系统进展合理近

似，建立晶体生长数值分析模型，并引入晶体生长模拟软件CryMas，通过优

网格划分精度及选择气体对流方程迭代次数等手段，最终使得模拟结果与试验结果全

都。

本文通过多种介质的比照，结合热交换法生长蓝宝石的具体特点，确定氦气为

优的热交换介质；争论了进气温度对热交换效率的影响，觉察热交换效率随进气

温度身高而单调降低；把握点温度从2345K上升到2370K的过程中，热交换效率几

乎不变；热交换效率随进气口与出气口面积比Sin/Sout及进气口距离热交换器顶端的

距离D的变化关系是格外单调的，确定了优的工艺参数。

模拟了热交换器中气流量增大引起温场的变过程，晶体和熔体中温度降低，温

度梯度增大固液界面以近弧面的形式向前推动；结合生长系统的具体特点喝本试验

室条件，确定了优的保温材料；模拟了坩埚在加热器中的位置，对坩埚中温场

的影响，确定了优的坩埚位置；坩埚长径比增大，干活中温度梯度喝固液界面

凸度变小；圆筒形加热器的长径比对蓝宝石生长过程中温度梯度和固液界面凸度影

响较大。长径比的增大，有利于得到较小的温度梯度和固液界面凸度；圆筒形加热器

小角度〔W4°〕倾斜对坩埚中温场无明显影响；热交换法蓝宝石晶体生长过程中难

以避开地因异质形核消灭多晶，因蓝宝石晶体热膨胀系数不匹配而相互挤压，导致

晶体开裂。为此，将热交换器至于干过的上方，外表固液界面和生长的晶体与坩埚壁

接触。模拟了相应的晶体生长过程，觉察随气流量增大，晶体自籽晶处开头生长，

在扩肩、等径生长过程中，晶体与熔体中的温度降低，温度梯度增大；通过转变坩

埚在加热器中的位置，有效地避开了锅边结晶和锅底结晶，获得了适宜的温场；比

照了热交换器在不同位置时的生长特点，觉察热交换器在坩埚上方时，能有效避开

开裂问题。

比照试验结果与模拟结果觉察，把握点的实测温度与模拟温度相差很小，生长

晶体的固液面和生长条纹与模拟结果吻合良好，证明模拟结果的精度比较高，建立的

数值分析模型是牢靠的。

引言

争论目的和意义

蓝宝石具有一系列优良的光学、力学、热学性质，在很多方面得到了重要应

用。

民用方面，由于蓝宝石硬度高、耐磨性好，是制备仪表轴承和高级表蒙德理

想材料，在珠宝装饰、医疗设备、环保产业等方面也有广泛应用。其中，最重要的是

用作半导体外延生长的衬底材料。氮镓材料本身很难生长出单晶，必需生长在与

其构造相类似的沉底材料上。可以作为氮镓衬底的的候材料有蓝宝石、Si、AIN

、ZnO等。尽管蓝宝石衬底片与氮镓之间存在较大的晶格失配，但与其它衬底材料

相比，具有高温下〔1000摄氏度〕化学稳定，简洁获得大尺寸，以及价格廉价

等优点，因此想被用来做GaN外延生长的衬底材料。随着技术的不断改进，尤其是

1994年以来，日本Nichia公司的Nakamura博士成功地在蓝宝石衬底上引入缓冲层

而外延生长出较高质量的氮镓，并开发出高亮度的氮镓基蓝光LED后，在全球

掀起了氮镓基发光材料及器件的争论热潮。目前以蓝宝石为衬底的GaN/GaInN

蓝、绿光LED已经实现商品化，而蓝光LED也已经实现室温条件下的连续波工作。

蓝宝石已经成为重要的氮镓衬底材料，随着GaN基发光材料及器件市场急剧增长

，对蓝宝石的需求也随之高速增长。我国在半导体材料和半导体照明领域与世界兴盛

国家差距比较大，这对国内蓝宝石争论及产业化的进展提出了迫切要求。

蓝宝石在军事领域