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光学疵病具体解读光学疵病具体解读

一.定义：

表面缺陷标准：依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示

表面缺陷大小。例如40/20（或40-20）前者限制划痕大小，后者限制麻

点大小。

道子、亮路都统称为划痕。

斑点、坑点、点子都称为麻点。

规定长与宽的比大于4：1的为划痕；长与宽的比小于4：1的为麻点。

当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时，等效直径的计算以区域

进行：表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准（如有效孔径的

区域），表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。

§美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。

划痕：

以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划

痕的比对标准。（注意：美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的

宽度和深度，只能以实际观察样版为标准。）

这里的划痕级数就是通常的划痕号数，标准样版有10#、20#、40#、

60#、80#5个级。

§SC-QA027表面质量标准共有7条划痕判定标准，前5条是美军标

的规定，后两条是公司内控标准。以下逐条讲解：

1.当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时，元件不合格。

例如：元件的表面质量要求为60—40，则代表元件的划痕必须≤60#，

如果元件有＞60#的划痕，则元件不合格。

2.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数，但元件存在最大划

痕时，所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。

例如：有一长30mm宽10mm的元件，元件的表面质量要求为60—40，

有2条60#长为3mm划痕。它的等效直径为20mm

1/4D为1/4某20=5mm

最大划痕的长度和为：

3mm+3mm=6mm

6mm5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的1/4。所以元件不合

格。

3.当元件存在最大划痕，而最大划痕的长度之和未超过1/4D，要求

所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和，不得超过最

大划痕级数的一半。

例：有一长30mm宽10mm的元件，元件的表面质量要求为60—40，

元件上有2条2mm的60#划痕，3条4mm的40#划痕。

它的等效直径为20mm

1/4D为1/4某20=5mm

最大划痕的长度和为：

2mm+2mm=4mm

4mm5mm。符合2条。

但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为：

1．60#划痕长度为（2+2）；40#划痕长度为（4+4+4+4）

2．60#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60某（2+2）/20；

40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40某（4+4+4+4）/20

3．所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为：

[60某（2+2）/20]+[40某（4+4+4+4）/20=36

元件最大划痕级数为60；60的一半为60/2=30）3630；因此，元件

不合格。

4.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数，且元件不存在最大

划痕时，所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和，不

得超过最大划痕级数。

例①：元件为Æ10，表面质量指标60—40，有2条50#划痕2mm，1

条40#划痕3mm，另2条40#划痕2mm，2条20#划痕2mm,10#划痕长度合

计10mm。

所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为：

[50某（2+2）/10]+[40某(3+2+2)/10]+[20某(2+2)/10]+[10某

10/10]=66

元件最大划痕为60#6660；因此，元件不合格。

5.当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时，元件表面不

准有密集划痕即在元件中任何一个Æ6.35mm面积的区域，不允许有4条或

4条以上的大等于10#划痕。

例：表面质量指标为20-10，Æ20mm，

在如图（1）所示的区或有2条长1mm

和2条长0.5mm的10#划痕。

它符合5.1.1;5.1.4（无需考虑5.1.2;5.1.3）

但它不符合5.1.5条。元件不合格。