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平晶等厚干涉条纹一体化检测方法研究
:，，、
摘要为了测量平晶表面误差提高检测效率和精度定义了平晶等厚干涉条纹信息提取分析以
，。
及计算的一体化求解机制提出了基于最小二乘法的条纹边缘拟合方法以某型号等厚干涉仪
，、
对条纹一体化检测为例说明了该方法搭建条纹一体化检测平台求解条纹误差的正确性有效性
与实用性。
:;;;
关键词曲线拟合等厚干涉条纹图像处理一体化检测
中图分类号:TP391．9文献标识码:A文章编号:2095－509X(2020)01－0075－06
，BP
平晶是表面粗糙度量值和表面形状误差均极条纹特征信息介绍了一种基于神经网络方法
小的光学玻璃或石英玻璃平面，以替代最小二乘法，
已成为各级计量单为干涉条纹的特征提取提供参
［6］
。。，
位平面度检测的关键基准元件现有平晶检测设考在此基础上王霞等针对干涉条纹的精度
备陈旧、、，计算提出次曲线拟合法，
检测质量不高操作繁琐因此对其表面产使得干涉条纹曲线拟合精
。［7］CCD
生的光波干涉条纹进行快速有效检测成为迫切需度明显提高赵艳等提出融合计算机图像
。，，
求目前对平晶平面度的检测主要由实验人员凭处理技术检测干涉条纹的方法但检测过程没有一
经验操作并评测，，体化，。
主观局限性较大测量精度及其检测效率难以保证
，，，
一致性难以保证检测效率低而且误操作率较高尽管上述方法为平晶的条纹检测做了有益探
。索，
无法满足工程要求但条纹的图像处理及其参数的求解算法以及一
，:1)
为此国内外研究人员利用高分辨率图像采集体化工程仍存在以下不足平晶等厚干涉条纹
、(CNN)，
元件图像处理技术以及卷积神经网络等的图像处理仍然是以已有的求解算法单向求解不
方法对条纹检测的过程和方法进行深入研究，以弥具有迭代求解信息回馈的闭环
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