基于HAZOP的集成电路安全生产风险评估.pdfVIP

电工技术系统解决方案

基于HAZOP的集成电风险评估

，

杨振李世军，刘忠哲

(北京智芯微电子科技有限公司，北京100096)

摘要：文章采用HAZOP风险评估方法,对集成电路生产过程中的安全性进行评估。重点介绍评估过程,并提出注

事项。

关键词：HAZOP；集成电路；安全生产；风险评估

HAZOP-basedRiskAssessmentofSafetyProductionofIntegratedCircuit

YANGZhen,LISHijun,LIUZhongzhe

(BeijingSmartchipMicroelectronicsTechnologyCo.,Ltd.,Beijing100096,China)

ThearticleusestheHAZOPriskassessmentmethodtoevaluatethesafetyoftheintegratedcircuitgeneration

Abstract：

processHFocusontheevaluationprocessandproposeconsiderationsH

circuitsafety；

Keywords:HAZOPintegrated；productionriskassessment

0引言性研究E%在生产过程中，其能够对工艺状态所出现的偏差

变化进行查找，随后进行原,并且找出

通常情况下，电路进行生产是一个极为的同时预测所能够出现的一系列结果％的根本目的是为

工艺，其中涵盖了、去胶等多道工序，每一道工序都了能够更好地对安全性还性进行全面的％其不仅

需要进行，并且需要多化学物品。,能够一的偏设偏进行效!还能够找

电力进行生产的过程中，存在着较大的风

出原％目前HAZOP国家安监可

险。无论是在生产过程中所使用的硬件设备，还是相应的

并且大。对于集成电路生产过程中的性多

学药品，都需要对其进行综合式的评估。与此同时

样性，采用HAZOP常好的匹配性％

电路进行生产过程中，所要求的设备

的辅助设备都需要较高的自动，出现任何形2基于HAZOP风险评估过程

式的偏差都会产生严重的后果。

生产进行HAZOP估的过中!需要全

1常用的安全生产评估方法的生产过进行系统、全的!不能过一个偏

设计的意图，