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《圆度、圆柱度测量仪校准规范》实验验证报告
一、实验目的
圆度测量仪(以下简称圆度仪)是以精密回转轴为基准测量圆度的精密测量仪器。测量时,以轴系回转轴线作为径向基准,位移传感器在被测件固定截面位置作相对圆周运动,并测得实际截面轮廓的相对半径变化值,通过评定得到圆度误差。圆度仪常用于内、外圆柱体、圆锥体和球体等的截面圆度测量。
圆柱度测量仪(以下简称圆柱度仪)是以精密回转轴和直线运动导轨为基准测量圆度、圆柱度的精密测量仪器。测量时,以轴系回转轴线作为径向基准,竖直轴运动导轨作为轴向基准,位移传感器在被测件多个截面位置作相对圆周运动(或沿整个圆柱面作螺旋线运动),并测得实际圆柱轮廓的相对半径变化值,通过评定得到圆度、圆柱度误差。圆度柱仪常用于内、外圆柱体、圆锥体和球体等的圆度、圆柱度、同轴度和跳动等测量。
规范制定小组在参考相关的技术标准和各生产厂圆度、圆柱度仪技术说明书的基础上,为了确认本规范的计量性能指标和校准方法是否合理,针对校准规范上确定的计量特性及校准项目,对圆度、圆柱度仪的校准项目和校准方法进行实验。
以下实验是在确定没有影响计量特性因素的基础上进行的。
二、实验结果
(见下一页)
表1圆度、圆柱度仪的实验验证(实验1)
仪器名称
圆度、圆柱度仪
实验条件
温度:19.7℃
相对湿度:34%
型号规格
Talyrond365
实验时间
2023.02.10
仪器编号
TR365-570
实验地点
郑州
实验设备
标准半球,圆度:0.01μm;标准圆柱,圆柱度1μm/500mm,直线度0.3μm/500mm;定标块弦高值11.6μm和294μm。
序号
校准项目
校准结果
计量特性要求
备注
1
径向误差
0.03μm(测量高度H≈
38mm)
0.04μm
圆度仪、圆柱度仪
2
轴向误差
0.03μm
0.04μm
圆度仪、圆柱度仪
3
竖直轴导轨运动的直线度
0.10μm/500mm
(分离法)
0.3μm/500mm
圆柱度仪
4
竖直轴导轨运行方向与回转轴线的平行度
0.12μm/500mm
(分离法)
1.0μm/500mm
圆柱度仪
5
示值误差
+0.3μm
/
圆度仪
-0.2μm
/
圆柱度仪
6
重复性
0.06μm
/
圆度仪
0.1μm
/
圆柱度仪
7
稳定性
/
/
圆柱度仪
表2圆度、圆柱度仪的实验验证(实验2)
仪器名称
圆度、圆柱度仪
实验条件
温度:19.5℃
相对湿度:36%
型号规格
Talyrond565
实验时间
2023.02.01
仪器编号
0033
实验地点
天津
实验设备
标准半球,圆度:0.01μm;标准圆柱,圆柱度1μm/500mm,直线度0.3μm/500mm;定标块弦高值11.6μm和294μm。
序号
校准项目
校准结果
计量特性要求
备注
1
径向误差
0.03(测量高度H≈38mm)
0.03μm
圆度仪、圆柱度仪
2
轴向误差
/
0.02μm
圆度仪、圆柱度仪
3
竖直轴导轨运动的直线度
0.14μm/500mm
(分离法)
0.3μm/500mm
圆柱度仪
4
竖直轴导轨运行方向与回转轴线的平行度
0.10μm/500mm
(分离法)
0.75μm/500mm
圆柱度仪
5
示值误差
+0.4μm
/
圆度仪
+0.3μm
/
圆柱度仪
6
重复性
0.06μm
/
圆度仪
0.1μm
/
圆柱度仪
7
稳定性
/
/
圆柱度仪
表3圆度、圆柱度仪的实验验证(实验3)
仪器名称
圆度、圆柱度仪
实验条件
温度:21℃
相对湿度:40%
型号规格
TR585HS
实验时间
2023.11.15
仪器编号
实验地点
上海
实验设备
标准半球,圆度:0.02μm;标准圆柱,圆柱度1μm/300mm,直线度0.23μm/260mm,母线平行度0.5μm/300mm;定标块弦高值17.97μm。
序号
校准项目
校准结果
计量特性要求
备注
1
径向误差/μm
0.06μm,0.05μm,0.06μm
0.05μm
圆度仪、圆柱度仪
2
轴向误差/μm
0.03μm,0.03μm,0.02μm
0.03μm
圆度仪、圆柱度仪
3
竖直轴导轨运动的直线度
0.29μm,0.27μm,0.29μm
0.3μm/300mm
圆柱度仪
4
竖直轴导轨运行方向与回转轴线的平行度
0.15μm,0.32μm,0.48μm
0.5μm/300mm
圆柱度仪
5
示值误差
﹣0.16μm
(
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