《圆度、圆柱度测量仪校准规范》实验验证报告.docx

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《圆度、圆柱度测量仪校准规范》实验验证报告

一、实验目的

圆度测量仪(以下简称圆度仪)是以精密回转轴为基准测量圆度的精密测量仪器。测量时,以轴系回转轴线作为径向基准,位移传感器在被测件固定截面位置作相对圆周运动,并测得实际截面轮廓的相对半径变化值,通过评定得到圆度误差。圆度仪常用于内、外圆柱体、圆锥体和球体等的截面圆度测量。

圆柱度测量仪(以下简称圆柱度仪)是以精密回转轴和直线运动导轨为基准测量圆度、圆柱度的精密测量仪器。测量时,以轴系回转轴线作为径向基准,竖直轴运动导轨作为轴向基准,位移传感器在被测件多个截面位置作相对圆周运动(或沿整个圆柱面作螺旋线运动),并测得实际圆柱轮廓的相对半径变化值,通过评定得到圆度、圆柱度误差。圆度柱仪常用于内、外圆柱体、圆锥体和球体等的圆度、圆柱度、同轴度和跳动等测量。

规范制定小组在参考相关的技术标准和各生产厂圆度、圆柱度仪技术说明书的基础上,为了确认本规范的计量性能指标和校准方法是否合理,针对校准规范上确定的计量特性及校准项目,对圆度、圆柱度仪的校准项目和校准方法进行实验。

以下实验是在确定没有影响计量特性因素的基础上进行的。

二、实验结果

(见下一页)

表1圆度、圆柱度仪的实验验证(实验1)

仪器名称

圆度、圆柱度仪

实验条件

温度:19.7℃

相对湿度:34%

型号规格

Talyrond365

实验时间

2023.02.10

仪器编号

TR365-570

实验地点

郑州

实验设备

标准半球,圆度:0.01μm;标准圆柱,圆柱度1μm/500mm,直线度0.3μm/500mm;定标块弦高值11.6μm和294μm。

序号

校准项目

校准结果

计量特性要求

备注

1

径向误差

0.03μm(测量高度H≈

38mm)

0.04μm

圆度仪、圆柱度仪

2

轴向误差

0.03μm

0.04μm

圆度仪、圆柱度仪

3

竖直轴导轨运动的直线度

0.10μm/500mm

(分离法)

0.3μm/500mm

圆柱度仪

4

竖直轴导轨运行方向与回转轴线的平行度

0.12μm/500mm

(分离法)

1.0μm/500mm

圆柱度仪

5

示值误差

+0.3μm

/

圆度仪

-0.2μm

/

圆柱度仪

6

重复性

0.06μm

/

圆度仪

0.1μm

/

圆柱度仪

7

稳定性

/

/

圆柱度仪

表2圆度、圆柱度仪的实验验证(实验2)

仪器名称

圆度、圆柱度仪

实验条件

温度:19.5℃

相对湿度:36%

型号规格

Talyrond565

实验时间

2023.02.01

仪器编号

0033

实验地点

天津

实验设备

标准半球,圆度:0.01μm;标准圆柱,圆柱度1μm/500mm,直线度0.3μm/500mm;定标块弦高值11.6μm和294μm。

序号

校准项目

校准结果

计量特性要求

备注

1

径向误差

0.03(测量高度H≈38mm)

0.03μm

圆度仪、圆柱度仪

2

轴向误差

/

0.02μm

圆度仪、圆柱度仪

3

竖直轴导轨运动的直线度

0.14μm/500mm

(分离法)

0.3μm/500mm

圆柱度仪

4

竖直轴导轨运行方向与回转轴线的平行度

0.10μm/500mm

(分离法)

0.75μm/500mm

圆柱度仪

5

示值误差

+0.4μm

/

圆度仪

+0.3μm

/

圆柱度仪

6

重复性

0.06μm

/

圆度仪

0.1μm

/

圆柱度仪

7

稳定性

/

/

圆柱度仪

表3圆度、圆柱度仪的实验验证(实验3)

仪器名称

圆度、圆柱度仪

实验条件

温度:21℃

相对湿度:40%

型号规格

TR585HS

实验时间

2023.11.15

仪器编号

实验地点

上海

实验设备

标准半球,圆度:0.02μm;标准圆柱,圆柱度1μm/300mm,直线度0.23μm/260mm,母线平行度0.5μm/300mm;定标块弦高值17.97μm。

序号

校准项目

校准结果

计量特性要求

备注

1

径向误差/μm

0.06μm,0.05μm,0.06μm

0.05μm

圆度仪、圆柱度仪

2

轴向误差/μm

0.03μm,0.03μm,0.02μm

0.03μm

圆度仪、圆柱度仪

3

竖直轴导轨运动的直线度

0.29μm,0.27μm,0.29μm

0.3μm/300mm

圆柱度仪

4

竖直轴导轨运行方向与回转轴线的平行度

0.15μm,0.32μm,0.48μm

0.5μm/300mm

圆柱度仪

5

示值误差

﹣0.16μm

(

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