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三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究的开题报告

一、选题背景及研究意义

加速度传感器是微电子机械系统（MEMS）中最重要的一类传感器之一。随着科技的发展，MEMS加速度传感器越来越小，越来越便携。然而，MEMS加速度传感器的稳定性、灵敏度和可靠性等方面仍然需要进一步提高。

在MEMS加速度传感器的真空封装过程中，常常出现内部空气阻尼、热膨胀不一致、储能器不均匀分布等问题，这些问题主要来源于真空封装过程中的气压、温度、湿度等环境因素。因此，研究如何有效地解决这些问题，提高MEMS加速度传感器的稳定性和可靠性，对加快MEMS加速度传感器的应用和推广具有重要意义。

二、研究内容

本研究将采用三明治电容式结构的MEMS加速度传感器作为研究对象，针对传感器真空封装过程中存在的问题，进行以下研究内容的探究：

1.不同真空度对MEMS加速度传感器内部空气阻尼的影响；

2.真空封装环境中储能器的均匀分布问题及其解决方法；

3.基于不同材料的封装结构比较与分析。

三、研究方法及步骤

1.获得三明治电容式结构的MEMS加速度传感器实验样品；

2.设计不同真空度实验方案以及储能器布局方案；

3.制备不同材料的真空封装结构；

4.分别测试不同实验方案下的MEMS加速度传感器的稳定性、灵敏度和可靠性等指标；

5.比较分析实验数据，得出结论。

四、预期成果

1.探究不同真空度及储能器布局对MEMS加速度传感器稳定性、灵敏度和可靠性等指标的影响；

2.提出一种有效地解决内部空气阻尼、储能器不均匀分布等问题并提高MEMS加速度传感器可靠性的真空封装方法；

3.比较不同材料的真空封装结构，分析其优缺点，并得出建议。

五、研究难点及解决办法

难点：如何有效地解决MEMS加速度传感器真空封装过程中存在的内部空气阻尼、储能器不均匀分布等问题，提高MEMS加速度传感器的可靠性。

解决办法：采用优化的真空封装方案、储能器布局方案和封装材料方案等方法，提高MEMS加速度传感器真空封装过程的稳定性和可靠性。同时，结合实验数据分析，总结提出有效的解决方法。