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ZeissSupra55扫描电镜操作使用

zeisssupra55扫描电镜操作使用

zeisssupra55(vp)扫描电子显微镜简明操作指南

一、开机表明冷启动步

1、启动ups

关上墙上空气控制器，证实ups后面电池控制器关上，按前面面板上on键至两个绿

灯暗。2、启动循环水冷机。

按on键，确认水泵1和制冷指示灯亮。

检查出水口压力在2～3bar。出水口压力可以由压力表下方阀门调节。若存有报警，

检查水，按res键。3、启动空气压缩机。

确认空气压缩机上启动阀门上开关为“i”状态。检查输出气压为5～6bar。4、确认

主机后两个电源开关状态为on。

此时，主机前面板上红灯暗。5、按下黄键。

说明：前级真空泵进入工作状态，分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。6、按下

绿键。

按下绿键后，电脑可以自动启动，输出计算机密码：7、启动smartsem软件。

用户名：system密码：8、检查真空值，等待真空就绪。

特别注意：当systemvacuum2×10mbar时，可以自动关上civ阀门

(columnisolationvalve)，并启动离子泵。当gunvacuum=5×10mbar时，可以启动

灯丝。若长期停机，aes蒸煮。9、打开灯丝。

10、开tv，检查样品台。11、装样品(见第二部分)。12、加高压(eht)。13、观察样

品。

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待机状态

1、停用高压(eht)。2、停用smartsem软件。

注意：分两步，先关用户界面userinterface，后关后台程序emserver。3、关

windows。

4、必要时，第一关能谱、ebsd。5、按下黄键

此时，电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。电镜真空系统和灯丝继续工作。

待机状态启动

1、按下绿键。

按下绿键后，电脑可以自动启动，输出计算机密码：

2、启动smartsem软件。

用户名：system密码：3、检查真空值。

4、换样或加高压观察样品。

关机步骤

1、关高压(eht)和灯丝。2、关smartsem软件。

特别注意：分后两步，先关用户界面userinterface，后第一关后台程序emserver。

3、关windows。4、第一关能谱、ebsd。

5、按下黄键，等待～10秒钟。

等候电子光学系统、样品台及检测系统电源停用。6、按下红键。7、第一关循环水

冷机。

8、必要时，关氮气总阀门。9、必要时，关ups。

10、必要时，第一关墙上空气控制器。

烘烤步骤

1、证实高压(eht)和灯丝停用。2、拨款高压电线。

先松开四颗螺丝，拔出高压头。3、打开监控软件gunmonitor。

设置监控gunvacuum和systemvacuum参数，时间间隔1s。4、已经开始蒸煮

菜单栏tools→gotopanel→bakeout，打开bakeout界面，设定加热时间8～20h，

冷却时间设为2h，开始。5、烘烤完成

完结后检查枪真空值，通常大于1×10mbar。停用gunmonitor。填入高压头，闭

锁。

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二、换样品

1、装试样。

在水泵样品座装不好样品，并记录样品形状、编号和边线。

注意：各样品观察点高度基本一致。确认样品不会脱落，并用洗耳球吹一下。2、关

高压。

3、检查插入式探测器状态

打开tv，将ebsd等插入式探测器拉出。4、放气。

点vent等候～分钟。

注意：确认zmoveonvent选上，这样，放气时样品台会自动下降。5、拉开舱门。

特别注意：打响舱门前，证实样品台已经调高，周围探测器处在安全边线。6、更改

样品座

注意：抓样品座时戴手套，避碰触样品。7、关上舱门。

特别注意：舱门上o圈有时可以开裂，关门时勿夹住异物。

8、抽真空。

页面pump，等候真空准备就绪(留心vacuum面板上真空状态)。等候过程中，可以

先移动样品台初步定样品。9、换样顺利完成。

加高压，观察样品

三、光学