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网络出版时间：2017-07-1108:45:35
网络出版地址：/kcms/detail/50.1091.TN0845.046.html
基于压电陶瓷的摩擦可调粘滑定位平台
杨飞雨，潘鹏，徐伟，汝长海
（苏州大学江苏省先进机器人技术重点实验室＆苏州纳米科技协同创新中心，江苏苏州215000）
摘要：为了提高粘滑式纳米定位台对不同负载，尤其是大质量负载的适用性，设计了驱动模块化的粘滑定
位平台。将质量块、柔性铰链、铰链架一体制造，将压电陶瓷致动器、预紧垫块、预紧螺钉安装在铰链架上，共
同组成一个独立的驱动模块，安装在底座的槽内，在调节螺钉的作用下可以调整垂直方向的位置，改变与载物台
接触面之间的摩擦力。对粘滑驱动平台建立动力学模型并进行仿真分析，研究摩擦力对平台性能的影响。实验结
果显示，负载200g时平台的最小步长8.84nm，最大速度3.727mm/s，行程约20mm。2kg负载下，未调节摩擦时
最大速度2.373mm/s，调节摩擦力之后最大速度3.063mm/s。实验证明该设计能同时满足小尺寸、高精度、高速
度、大行程、适应大负载的要求。
关键词：纳米定位；压电陶瓷；摩擦力；粘滑驱动；动力学模型
中图分类号：TP242文献标识码：A
FrictionAdjustableStick-slipPositioningStageBasedonPiezoelectric
Ceramics
YANGFeiyu,PANPeng,XUWei,RUChanghai
（JiangsuProvincialKeyLab.ofAdvancedRoboticsCollaborativeInnovationCenterofSuzhouNanoScienceandTechnology,
SoochowUniversity,Suzhou215000,China）
Abstract:Astick-slipnanopositioningstagewithdrivemodularisdesignedtoimprovetheapplicabilityofdifferent
load,especiallylargeload.Amassblock,aflexurehinge,aframeareintegratedmanufactured.Apiezoelectricceramic
actuator,apreloadblock,apreloadscrewareinstalledintheframe,whichconstitutethedrivemoduletogether.Thedrive
moduleisinstalledinagrooveofthebase.Theverticalpositionofthedrivemodulecanbeadjustedbyrotating
adjustmentscrewtochangethefrictionbetweenthecontactsurfaceoftheobjectstage.Thekineticmodelofstick-slip
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