双光学灵敏杠杆法内径尺寸测量原理的研究.pdfVIP

双光学灵敏杠杆法内径尺寸测量原理的争论

刘林青;李东升;马建东;秦昀亮

【摘要】针对高效便捷准确测量内径尺寸的问题,该文提出双光杠杆法测量内径尺

寸原理,承受两块反射镜形成双光学灵敏杠杆的方法,通过CCD相机采集移动的衍

射光斑图像,实现将测头的移动转换为CCD相机上光斑的移动,从而测得内径尺寸.

结合反射定律,通过解析几何的方法建立双光学灵敏杠杆法测量内径尺寸的数学模

型,并计算两反射镜小角度旋转的21×21种组合状况下内径尺寸的计算结果.依据

所建立模型计算设计测头A、测头B区分力为0.1μm,可较好地满足微米级的测量

需求.该原理性争论为双光杆法内径尺寸测量装置的研制供给理论根底.

【期刊名称】《中国测试》

【年(),期】2019(045)002

【总页数】6页(P16-21)

【关键词】双光学灵敏杠杆;内径尺寸检测;小孔衍射;亚像素法

【作者】刘林青;李东升;马建东;秦昀亮

【作者单位】中国计量大学计量测试工程学院,浙江杭州310018;中国计量大学计

量测试工程学院,浙江杭州310018;长庆油田分公司技术监测中心,陕西西安

710021;长庆油田分公司技术监测中心,陕西西安710021

【正文语种】中文

【中图分类】TH-3;TH7

0引言

内孔直径是机械工件的一个很重要的尺寸，孔径尺寸测量的精度会直接影响它与轴

的协作精度，以及其他零部件的定位、安装精度。受空间及视觉、触觉等因素的制

约，内径尺寸测量始终比外尺寸测量难度大很多[1-2]。目前的测量方法在静态离

线测量中较为成熟，但是在周密机械加工快速进展的今日，快速在线测量已成为急

需解决的问题[3-4]。例如，轴承内径尺寸的测量。目前的内径测量方式依据测量

手段不同，可分为接触式测量方法以及非接触式测量方法两种。接触式测量法精度

相对较高，应用场合较多。接触式测量方法常见的有塞规法、内径表、内径尺、三

坐标测量机、气动量仪等测量方法。传统的方法已经不能满足周密测量技术进展的

需要，它们或对操作人员的素养要求较高，或操作简单，效率低下[5-6]。三坐标

机测量具有较高的测量精度及良好的通用性，然而，三坐标机测量需要采集工件外

表点的坐标信息，这严峻影响了测量效率并且价格昂贵。气动量仪测量属于比较测

量，对于不同的测量尺寸，需要制造相应的测量头与校准规，通用性不强。

光学灵敏杠杆具有放大的作用，通常用作瞄准部件，只有协作位移装置才能解决内

径尺寸测量，为解决这一问题，本文提出了双光学灵敏杠杆的测量方法，并开展理

论争论及原理试验。

1双光学灵敏杠杆内径尺寸测量原理

双光杆法内径尺寸测量构造整体示意图如图1所示，主要由激光器、光阑、两组由

反射镜构成的光杠杆系统、导轨、CCD相机等组成。首先，光杠杆系统A与光杠

杆系统B安装在同一水平导轨上，每个光杠杆系统与一个接触式测头相连，接触式

测头的移动可以带动光杠杆系统中的反射镜的转动，初始位置反射镜与水平面

的夹角为45°，激光器发出的光经过光阑产生衍射，产生衍射后的入射光45°入射，

经过两次反射，成像在CCD上。由于内径尺寸误差的存在，使得接触式测头产生

微小位移，反射镜转动，从而激光的光线产生变化，CCD上光斑位置也会发生变

化，最终，CCD相机采集衍射光斑图像，由计算机进展图像处理并完成衍射光斑中

心坐标计算以及光斑移动距离计算[7-8]。将待测轴承沿水平方向移动一个距离，激

光入射后再次发生偏转，CCD上的光斑位置再次移动一个距离，依据光斑两次移动

的距离、轴承水平移动的距离以及系统的各项固定尺寸参数，便可得到光杠杆系统

A、光杠杆系统B所对应的测头各自移动的距离，进而可求得内径尺寸的实

际值。

图1双光杠杆机构简化图

2双光学灵敏杠杆测量内径尺寸数学模型

设A、B为两反射镜，激光从反射镜A入射，反射镜B反射，并由反射镜B上方

的水平放置的CCD感应，其轴心位置分别为O1、O2，反射镜A、B的初始位置

分别与水平方向呈135°以及45°，反射镜A、B可分别绕轴心O1、O2转动，其

原理图如图2所示。S线为一条基准线，初始位置反射镜A、B与基准线S的交点

分别为Q1、Q2，且Q1Q2=d，d为被测内径尺寸的理论值。基准线S距O1、

O2所在水平面的垂直距离为b，CCD距O1O2所在水平面的垂直距离为H。

图2双光学灵敏杠杆测量微位移原理图

ΔL1、ΔL2分别为A镜顺时针、逆时针