XPS分析原理 、常见问题和数据处理案例介绍.pdf

赛默飞XPS光电子能谱学苑

分析原理、常见问题和数

据处分析案例介绍

程斌

北京化工大学

2019,11北京

：：

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一、前言

1.1XPS代表的意思

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1.2XPS定义

（）

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1.3XPS功能

表面组成定性、定量分析

表面元素化学态定性、定量分析

表面元素的分布及分布图

界面元素分析

组成与化学态深度分布

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1.4XPS方法Forinstrumentalanalysis

PhysicalProperties

IntensityforQuantativeAnalysis

l

a

c

i

tIntensity

r

e

V

PostionHorizontal

PostionInformationforQualitativeAnalysis

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For



结合能与原子中电子轨道有对应关系确定元素（定性）



光电子数量与元素浓度有关确定元素含量（定量）

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二、XPS方法原理

2.1芯电子与价电子

价电子：1、原子最外层、能量最高2、参与化学

反应

芯电子：原子内层、能量低、稳定构型（全满）、不参

与化学反应。

保留原子特征

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S16e-1s22s22p63s23p4

芯电子价电子

S16e-[Ne]