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设备名称：极高分辨率扫描电子显微镜
设备型号：Verios460
制造商：FEI公司
价格：690万
Verios460的性能
1.电子光学系统
1.1辨率：二次电子（SE）像
*1.1.115V至2V整个范围：0.6nm（SE）二次电子像辨率
*1.1.21V时0.7nm（SE）
*1.1.3500V时1.0nm（SE）
*1.1.4200V时1.2nm（ICD）
1.2放大倍率：范围40～900,000倍
根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准
1.3加速电压：0.02V～30V
*1.4电子枪：带电子束单色器技术的最新一代肖特基场发射电子枪
*1.5电子束流：0.8pA～100nA，并连续可调
*1.6物镜及光阑：恒功率物镜，物镜光阑能自加热自清洁。
1.7电子束流：具有电子束流测量
*1.8具有电子束减速模式:样品台偏压范围宽，从-4000V至50v。
*1.9具有一体化等离子清洗装置
2.样品室
2.1样品室：可容纳样品直径不小于100mm。
*2.2样品台：五轴马达驱动样品台，移动范围指标：
X=100mmY=100mm20mm
连续旋转：R=360倾斜角T：范围-10º～+60º
*2.3X/Y重复精度：0.5µm
3.探测器：
3.1ET二次电子探头（主机标配）
3.2(,TLD-SETLD-BSE
极靴内探测器含二次电子和背散射电子探测模式和）（主机标配）
3.3样品室红CCD相机（主机标配）
*3.4ElstarIn-ColumnDetector（ICD探头）（选配）
*3.5Nav-Cam+大样品导航装置。（选配）
通过在样品仓门上加装光学相机，提供样品台的彩色光学照片（像素为600万，或3072X2048
像素），照片可覆盖70mm的样品台范围。样品台导航系统利用照片可以寻找到感兴趣的位置。
4.真空系统
4.1无油真空系统
4.2由涡轮子泵，前级机械泵，和离子泵组成
4.3样品室真空度：优于2.6×10-6mbar（连续抽真空24小时后）
5.数字图像处理器
5.1电子束扫描停留时间：25ns-25ms/pixel.
5.2扫描及图形存储：最大6144×4096像素
5.3图像显示：1920×1200像素，24”LCD显示器2台
5.4单幅或四幅图像显示
5.5图像记录文件格式：TIFF(8位,16位或24位),BMP和JPEG可选
5.6具有SmartSCAN智能扫描技术
5.7具有DCFI(漂移补偿帧积)
6.控制和数据处理系统
6.1基于网络架构的数据传输系统
6.2计算机系统
DVD刻录机；24”LCD显示器
6.3基于WindowsXP的32位图形用户界面
6.4操作方式：键盘、鼠标
6.5可自动调节：电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、
倾斜补偿
配置清单：
序
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