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剪切散斑干涉关键技术研究及应用进展.pdfVIP

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  • 2024-05-27 发布于江西
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剪切散斑干涉关键技术研究及应用进展.pdf

    第59卷第14期/2022年7月/激光与光电子学进展特邀综述

    剪切散斑干涉关键技术研究及应用进展

    1，2*11，21，211

    王永红，姚彦峰，李骏睿，闫佩正，李晨，吴双乐

    1合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，安徽合肥230009；

    2合肥工业大学测量理论与精密仪器安徽省重点实验室，安徽合肥230009

    摘要剪切散斑干涉测量技术是一种非接触式高灵敏度的光学检测技术。从技术研究和应用领域等方面对剪切散斑干

    涉技术近年来的发展进行介绍，详细阐述空间相移剪切干涉测量、多方向剪切干涉测量、多功能复用测量等剪切散斑干

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