《机电一体化控制技术与系统》课件第2章.ppt

图2－65热变形式微进给装置4）磁致伸缩式

该类机构利用某些材料在磁场作用下具有改变尺寸的磁致伸缩效应来实现微量位移。其原理如图2－66所示。磁致伸缩棒左端固定在机座上，右端与运动件相连，绕在伸缩棒外的磁致线圈通电励磁后，在磁场作用下，伸缩棒产生伸缩变形而使运动件实现微量移动。通过改变线圈的通电电流来改变磁场强度，使磁致伸缩棒产生不同的伸缩变形，从而使运动件得到不同的位移量。在磁场作用下，伸缩棒的变形量ΔL（μm）为（2－9）式中：C——材料磁致伸缩系数（μm/m）；L——伸缩棒被磁化部分的长度（m）。图2－66磁致伸缩式微进给装置当伸缩棒变形所产生的力能克服运动件导轨副的动摩擦力时，运动件便产生位移，其最小位移量ΔLmin（μm）为（2－10）最大位移量ΔLmax（μm）为（2－11）式中：F0——导轨副的静摩擦力（N）；Fd——导轨副的动摩擦力（N）；K——伸缩棒的纵向刚度（N/μm）；Cs——磁饱和时伸缩棒的相对磁致伸缩系数（μm/m）。磁致伸缩式微动机构的特征为：重复精度高，无间隙；刚度好，转动惯量小，工作稳定性好；结构简单、紧凑。但由于工程材料的磁致伸缩量有限，该类机构所提供的位移量很小，如100mm长的铁钴钒棒，磁致伸缩只能伸长7μm。因而，该类机构适用于精确位移调整、切削刀具的磨损补偿、温度补偿及自动调节等系统中。

图2－67所示为磁致伸缩式精密工作台，传动箱经丝杠螺母副传动得到粗位移，利用粗位移得到所需的较大的进给量，利用装在螺母与工作台之间的磁致伸缩棒实现微量位移。图2－67磁致伸缩式精密工作台在机械加工中大量采用了各种类型的微动机构，尤其在超精密车削加工中，电致伸缩微量进给装置由于有较好的动特性，故应用最为广泛。电致伸缩微量进给机构有很多优点：

（1）能够实现高刚度和无间隙位移。

（2）能实现极精细的微量位移，分辨率可达1.0～2.5nm。

（3）变形系数较大。

（4）有很高的响应频率，其响应时间达100μs。

（5）无空耗电流发热问题。当电致伸缩陶瓷片一侧通正电、一侧通负电时，陶瓷片在静电场作用下将伸长，当静电场的电压增加时，伸长量亦增大。为了增加总伸长量，一般采取将很多陶瓷薄片叠在一起的办法，使各陶瓷片的伸长量叠加在一起。

常用的电致伸缩材料为压电陶瓷PZT（PbZnO－PbT陶瓷）等，这种材料具有很好的电致伸缩性能。美国AVX公司推出了一种新的电致伸缩陶瓷材料，其性能要比PZT陶瓷材料好。2.4.5液压机构

液压机构是以液压油为动力源来完成预定运动要求和实现各种机构功能的机构。液压机构与纯机械机构和电力驱动机构相比，主要有以下优点：

（1）在输出同等功率的条件下，机构结构紧凑，体积小、重量轻、惯性小。

（2）工作平稳，冲击、振动和噪音都较小，易于实现频繁的启动、换向，能够完成旋转运动和各种往复运动。

（3）操作简单、调速方便，并能在大的范围内实现无级调速，调速比可达5000。

（4）可实现低速大力矩传动，无需减速装置。1.直线液压缸

用电磁阀控制的直线液压缸是最简单和最便宜的开环液压驱动装置。在直线液压缸的操作中，通过受控节流口调节流量，可以在达到运动终点时实现减速，使停止过程得到控制。

如图2－68所示，液压油经控制阀送入液压缸的一端，在开环系统中，控制阀是由电磁铁打开和控制的；在闭环系统中，控制阀是由电液伺服阀等来控制的。最初出现的Unimate机器人也是用液压驱动的。图2－68用伺服阀控制的直线液压缸2.旋转执行元件

图2－69是一种旋转式执行元件。它的壳体由铝合金制成，转子是钢制的。密封圈和防尘圈分别用来防止油的外泄和保护轴承。在电液阀的控制下，液压油经进油口进入，并作用于固定在转子上的叶片上，使转子转动。隔板用来防止液压油短路。通过一对由消隙齿轮带动的电位器和一个解算器给出转子的位置信息，电位器给出粗略值，而精确位置由解算器测定，这样，解算器的高精度和小量程就由低精度大量程的电位器予以补救。当然，整个精度不会超过驱动电位器和解算器的齿轮系精度。图2－69旋转液压马达3.电液伺服阀

电液伺服阀主要有两种类型：图2－70所示的喷嘴挡板伺服阀和图2－71所示的射流管伺服阀。

在喷嘴挡板伺服阀中，挡板接在衔铁中部，从两个喷嘴中间穿过，在喷嘴与挡板间形成两个可变节流口。电信号产生磁场带动衔铁和挡板，张大一侧的节流口而关小另一侧的节流口，这样就在滑阀两端建立起不同的油压，从而使滑阀移动。由于滑阀移动，它压弯了抵抗它运动的反馈弹簧，当油压差产生的力等于弹簧力时，滑阀即停止运动。滑