原创力文档- 38
- 0
- 约1.4万字
- 约 15页
- 2024-05-25 发布于四川
- 举报
本发明涉及一种基于深度学习的半导体SEM图像降噪方法，包括训练阶段和推理阶段，其中，训练阶段包括：对半导体SEM图像进行预处理；构建训练数据集；对训练数据集中的图片掺入多种强度的噪声；分别训练分类模型、分割模型、降噪模型；推理阶段包括：对待降噪的半导体SEM图像进行图像预处理；使用分割模型对图片进行切分，并进行噪声强度预测，根据预测后的结果，选择对应强度的置信度矩阵；通过训练完成的降噪模型对待识别的半导体SEM图像进行调用对应预测强度的降噪参数进行降噪，得到降噪的图片后，进行图像合并；通过锐化核
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118071631A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202410224958.2G06N3/0464(2023.01)
文档评论（0）